| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 微环谐振器的发展 | 第9-12页 |
| 1.3 微环谐振器的应用 | 第12-15页 |
| 1.4 本文的主要内容以及创新点 | 第15-17页 |
| 第二章 微环谐振器的特性分析 | 第17-31页 |
| 2.1 微环谐振器的传输原理与特性分析 | 第17-20页 |
| 2.1.1 微环谐振器的传输原理 | 第17页 |
| 2.1.2 传输特性 | 第17-20页 |
| 2.2 微环谐振器的重要参数 | 第20-23页 |
| 2.3 马赫-曾德尔(MZI)型微环谐振器特性分析 | 第23-31页 |
| 2.3.1 马赫-曾德尔(MZI)型耦合器 | 第23-25页 |
| 2.3.2 MZI型微环谐振器 | 第25-27页 |
| 2.3.3 级联MZI型微环谐振器 | 第27-31页 |
| 第三章 可调谐微环谐振器的设计与制备 | 第31-51页 |
| 3.1 可调谐氮化硅波导微环谐振器的设计 | 第31-42页 |
| 3.1.1 光波导结构及尺寸设计 | 第31-34页 |
| 3.1.2 微环的半径 | 第34-37页 |
| 3.1.3 耦合长度及耦合间隔 | 第37-40页 |
| 3.1.4 MZI臂长 | 第40-41页 |
| 3.1.5 掩膜版的设计 | 第41-42页 |
| 3.2 氮化硅波导的制备 | 第42-47页 |
| 3.2.1 磁控溅射法 | 第42-44页 |
| 3.2.2 基于lift-off制备氮化硅波导 | 第44-47页 |
| 3.3 可调谐氮化硅波导微环谐振器的制备 | 第47-51页 |
| 第四章 微环谐振器的测试与分析 | 第51-59页 |
| 4.1 光学测试平台的组成及测试流程 | 第51-52页 |
| 4.2 微环谐振器的测试与分析 | 第52-54页 |
| 4.3 可调谐微环谐振器的测试与分析 | 第54-59页 |
| 4.3.1 单环MZI型微环谐振器的可调性 | 第54-56页 |
| 4.3.2 级联双环MZI型微环谐振器的可调性 | 第56-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 作者简介 | 第65页 |