应用于硅基薄膜太阳能电池的ZnO透明导电膜的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·透明导电薄膜概述 | 第8-10页 |
| ·透明导电薄膜分类 | 第8-9页 |
| ·透明导电薄膜应用 | 第9-10页 |
| ·ZnO晶体简介 | 第10-12页 |
| ·ZnO薄膜研究现状及发展趋势 | 第12-13页 |
| ·ZnO薄膜的国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·ZnO薄膜的发展趋势 | 第13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-16页 |
| 第二章 薄膜制备技术及操作规程 | 第16-22页 |
| ·常用薄膜制备技术简介 | 第16-17页 |
| ·射频磁控溅射简介 | 第17-19页 |
| ·实验设备及操作流程 | 第19-22页 |
| ·实验器材准备 | 第19-20页 |
| ·实验操作流程 | 第20-22页 |
| 第三章 制备工艺对薄膜性能的影响 | 第22-36页 |
| ·ZnO薄膜表征方法 | 第22-24页 |
| ·溅射参数设定 | 第24-25页 |
| ·表征结果与分析 | 第25-34页 |
| ·氩氧比对薄膜性能的影响 | 第25-28页 |
| ·溅射功率对薄膜性能的影响 | 第28-30页 |
| ·生长气压对薄膜性能的影响 | 第30-31页 |
| ·衬底温度对薄膜性能的影响 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章 硅基薄膜太阳能电池的仿真研究 | 第36-54页 |
| ·太阳能电池简介 | 第36-38页 |
| ·薄膜电池建模仿真 | 第38-41页 |
| ·AFORS-HET软件介绍 | 第39页 |
| ·电池模型及参数选取 | 第39-41页 |
| ·仿真过程及结论 | 第41-52页 |
| ·发射层对电池性能的影响 | 第41-46页 |
| ·本征层对电池性能的影响 | 第46-49页 |
| ·界面态对电池性能的影响 | 第49-50页 |
| ·ZnO薄膜对电池性能的影响 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
