大位移低电压的静电斥力微驱动器的设计与仿真研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·概述 | 第10页 |
| ·RF MEMS开关的相关研究背景 | 第10-15页 |
| ·MEMS发展背景 | 第10-11页 |
| ·RF MEMS开关发展背景 | 第11-15页 |
| ·RF MEMS开关发展现状 | 第15-17页 |
| ·RF MEMS开关可靠性问题概述 | 第17-18页 |
| ·课题研究意义 | 第18页 |
| ·研究的主要内容 | 第18-22页 |
| 第二章 RF MEMS开关的可靠性问题 | 第22-30页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·RF MEMS开关的可靠性问题分析 | 第22-25页 |
| ·失效模型分析 | 第22-24页 |
| ·介质充电产生原理 | 第24-25页 |
| ·介质充电的解决方法 | 第25-26页 |
| ·静电斥力驱动的可靠性分析 | 第26-27页 |
| ·仿真软件介绍 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 静电斥力驱动结构仿真分析 | 第30-54页 |
| ·前言 | 第30页 |
| ·静电斥力工作原理 | 第30-33页 |
| ·静电斥力驱动基本结构 | 第30-31页 |
| ·静电斥力产生原理 | 第31-33页 |
| ·静电斥力驱动的可行性验证 | 第33-41页 |
| ·静电斥力驱动仿真验证 | 第33-39页 |
| ·静电斥力基本结构的实验验证 | 第39-41页 |
| ·静电斥力驱动基本结构参数仿真 | 第41-50页 |
| ·可动极板长度仿真分析 | 第42-43页 |
| ·可动极板厚度仿真分析 | 第43-44页 |
| ·可动极板宽度仿真分析 | 第44-45页 |
| ·可动极板与固定极板垂直间距仿真分析 | 第45页 |
| ·固定极板之间水平间距仿真分析 | 第45-47页 |
| ·固定极板参数仿真 | 第47-50页 |
| ·静电斥力分析模型 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 静电斥力驱动结构优化 | 第54-62页 |
| ·前言 | 第54页 |
| ·静电斥力驱动结构优化 | 第54-61页 |
| ·改变可动极板的结构 | 第54-58页 |
| ·改变固定极板结构 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 静电混合驱动结构设计 | 第62-70页 |
| ·前言 | 第62页 |
| ·H型可动极板的参数仿真 | 第62-65页 |
| ·可动极板支撑臂长度仿真分析 | 第63-64页 |
| ·可动极板支撑臂宽度仿真分析 | 第64-65页 |
| ·引入静电引力驱动结构 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-74页 |
| ·本文所完成的工作 | 第70-71页 |
| ·下一步的工作展望 | 第71-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及获得的成果 | 第82页 |
