带有力反馈系统的微加工头的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·微纳米机械刻划加工装置的研究现状及分析 | 第9-13页 |
| ·纳米加工的方法 | 第9-10页 |
| ·微纳米机械刻划加工装置的研究现状 | 第10-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 带有力反馈系统微加工头的建立 | 第15-31页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·系统的构成和加工原理 | 第15-21页 |
| ·装置的加工原理 | 第15-16页 |
| ·装置的系统构成 | 第16-17页 |
| ·力测量装置的原理 | 第17-18页 |
| ·微位移台的原理 | 第18-19页 |
| ·微探针及其夹具的设计 | 第19-20页 |
| ·XY 向移动台的工作原理 | 第20-21页 |
| ·控制系统的硬件研制 | 第21-28页 |
| ·控制系统的设计原理 | 第21页 |
| ·控制系统的硬件设计 | 第21-28页 |
| ·控制系统的软件设计 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 微加工系统的标定与分析 | 第31-45页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·系统的标定与测试 | 第31-34页 |
| ·力的标定 | 第31-33页 |
| ·系统加载卸载实验与死区测试 | 第33-34页 |
| ·微加工系统的有限元分析 | 第34-44页 |
| ·系统的应变分析 | 第35-40页 |
| ·系统的温度变化影响分析 | 第40-42页 |
| ·系统的模态分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 微加工系统闭环加工实验研究 | 第45-55页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·系统加载卸载过程实验 | 第45-46页 |
| ·垂直压力自由下降过程实验 | 第46-48页 |
| ·闭环刻划加工与开环刻划加工实验研究 | 第48-54页 |
| ·闭环系统PID 参数整定实验 | 第48-50页 |
| ·力闭环对加工质量的影响 | 第50-53页 |
| ·加工方向和加工速度对刻划加工影响 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
