| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 图目录 | 第10-13页 |
| 表目录 | 第13-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-23页 |
| ·微机械系统领域的发展 | 第14-15页 |
| ·MEMS 引信安全系统的国内外研究现状 | 第15-21页 |
| ·MEMS 引信安全系统的发展 | 第15-19页 |
| ·V 型电热致动器的发展 | 第19-21页 |
| ·研究主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 V 型电热致动器的理论研究 | 第23-37页 |
| ·基于有限元的多物理场耦合方法研究 | 第23-29页 |
| ·V 型电热致动器的物理场描述 | 第24-25页 |
| ·基于弱形式的有限元数值计算方法 | 第25-27页 |
| ·V 型电热致动器的多物理场耦合有限元数值解 | 第27-29页 |
| ·基于有限差分的能量守恒数值计算 | 第29-33页 |
| ·V 型梁的电场（电能）计算 | 第30-31页 |
| ·V 型梁的热场（热能）计算 | 第31页 |
| ·V 型梁的力场（变形能）计算 | 第31页 |
| ·热损失的能量 | 第31-32页 |
| ·能量守恒公式 | 第32页 |
| ·V 型电热致动器的计算 | 第32-33页 |
| ·两种理论的对比分析 | 第33-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第3章 V 型电热致动器设计优化和仿真 | 第37-48页 |
| ·多物理场耦合仿真 | 第37页 |
| ·新型材料结构的 V 型电热致动器 | 第37-39页 |
| ·不同尺寸 V 型电热致动器的仿真分析及尺寸对比分析 | 第39-47页 |
| ·V 型梁的倾角对致动器输出位移的影响 | 第40-42页 |
| ·V 型梁的跨长对致动器输出位移的影响 | 第42-45页 |
| ·V 型梁的组数对致动器输出位移的影响 | 第45-47页 |
| ·仿真结论 | 第47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第4章 V 型电热致动器加工工艺设计 | 第48-60页 |
| ·MEMS 加工工艺 | 第48-50页 |
| ·表面硅加工工艺技术 | 第48-49页 |
| ·体硅加工工艺技术 | 第49-50页 |
| ·表面硅加工工艺和体硅加工工艺的比较 | 第50页 |
| ·V 型电热致动器的结构设计 | 第50-53页 |
| ·V 型电热致动器掩膜版设计 | 第53-57页 |
| ·V 型电热致动器加工实物 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第5章 V 型电热致动器的实验方案和测试系统 | 第60-71页 |
| ·V 型电热致动器的静态测试 | 第60-64页 |
| ·轮廓和尺寸特征 | 第60-63页 |
| ·电阻测量 | 第63-64页 |
| ·基于 DIC 技术的动态测量系统 | 第64-70页 |
| ·DIC 基本理论 | 第65-66页 |
| ·V 型电热致动器的动态试验系统 | 第66-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| 总结 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 附录 IV 型电热致动器的能量守恒算法 | 第76-78页 |
| 攻读学位期间发表论文和研究成果清单 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |