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热处理工艺对溶胶凝胶法制备的铌酸钾钠压电薄膜的影响

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·研究背景与意义第12页
   ·无铅压电材料第12-13页
     ·无铅压电陶瓷第12-13页
     ·无铅压电薄膜第13页
   ·(K,Na)NbO_3基无铅压电薄膜第13-20页
     ·(K,Na)NbO_3的晶体结构第13-14页
     ·KNbO_3-NaNbO_3相图第14-15页
     ·(K,Na)NbO_3基压电薄膜的制备第15-19页
     ·存在问题及解决方法第19-20页
   ·选题依据及研究内容第20-22页
     ·选题依据第20-21页
     ·研究内容第21-22页
第二章 (K,Na)NbO_3溶胶的制备第22-32页
   ·引言第22页
   ·金属醇盐体系制备(K,Na)NbO_3前驱体溶液第22-24页
     ·实验原料及设备第22-23页
     ·实验过程第23-24页
     ·前驱体溶液浓度的选择第24页
   ·非醇盐体系制备(K,Na)NbO_3前驱体溶液第24-29页
     ·实验原料及设备第24-26页
     ·实验过程第26-29页
     ·溶胶的稳定性第29页
   ·本章小结第29-32页
第三章 溶胶凝胶醇盐法制备(K,Na)NbO_3薄膜第32-44页
   ·引言第32页
   ·实验流程第32-36页
     ·原料及设备第32-33页
     ·实验过程第33-35页
     ·顶电极的制备第35页
     ·测试及性能表征第35-36页
   ·结果与讨论第36-43页
     ·醇盐体系(K,Na)NbO_3溶胶的热重分析第36-37页
     ·热裂解温度对(K,Na)NbO_3薄膜的影响第37-40页
     ·退火温度对(K,Na)NbO_3薄膜的影响第40-43页
   ·本章小结第43-44页
第四章 溶胶凝胶非醇盐法制备(K,Na)NbO_3薄膜第44-52页
   ·引言第44页
   ·实验流程第44-47页
     ·原料及设备第44-45页
     ·实验过程第45-46页
     ·测试及性能表征第46-47页
   ·结果与讨论第47-51页
     ·非醇盐体系(K,Na)NbO_3溶胶的热重分析第47页
     ·退火温度对(K,Na)NbO_3薄膜影响第47-51页
   ·本章小结第51-52页
第五章 改进的非醇盐体系制备(K,Na)NbO_3薄膜第52-60页
   ·引言第52页
   ·实验流程第52-54页
     ·原料及设备第52-53页
     ·实验过程第53-54页
     ·测试及性能表征第54页
   ·结果与讨论第54-57页
     ·改善的非醇盐体系(K,Na)NbO_3溶胶的热重分析第54-55页
     ·热裂解温度对(K,Na)NbO_3薄膜的影响第55-57页
   ·本章小结第57-60页
第六章 结论及展望第60-62页
   ·结论第60-61页
   ·展望第61-62页
参考文献第62-68页
致谢第68-69页
研究生期间研究成果及发表的学术论文第69页

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