化学气相沉积氮化钒涂层的基础研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·氮化钒简介 | 第9页 |
| ·氮化钒的应用 | 第9-10页 |
| ·涂层的制备 | 第10-15页 |
| ·热喷涂法 | 第10-11页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第11页 |
| ·激光熔覆 | 第11-12页 |
| ·自蔓延高温合成法 | 第12-13页 |
| ·电火花沉积法 | 第13页 |
| ·物理气相沉积 | 第13-14页 |
| ·化学气相沉积 | 第14-15页 |
| ·氮化钒制备方法 | 第15-17页 |
| ·氮化钒高温真空制备 | 第15-16页 |
| ·氮化钒高温非真空制备 | 第16页 |
| ·氮化钒的其他制备方法 | 第16-17页 |
| ·本课题研究的目的及内容 | 第17-19页 |
| ·研究目的 | 第17页 |
| ·研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 试验设备与方法 | 第19-25页 |
| ·试验设备 | 第19-22页 |
| ·化学气相沉积炉 | 第19页 |
| ·X 射线衍射仪（XRD） | 第19-20页 |
| ·扫描电镜（SEM） | 第20-21页 |
| ·金相显微镜 | 第21-22页 |
| ·多功能材料表面性能试验仪 | 第22页 |
| ·试验材料 | 第22-23页 |
| ·制备氮化钒涂层的钒源 | 第22-23页 |
| ·制备氮化钒涂层的反应气体 | 第23页 |
| ·基体试件预处理 | 第23页 |
| ·氮化钒涂层制备 | 第23-25页 |
| ·工艺流程 | 第23-24页 |
| ·工艺参数 | 第24-25页 |
| 第三章 涂层表征 | 第25-49页 |
| ·涂层形貌 | 第25-29页 |
| ·涂层成分分析 | 第29-30页 |
| ·厚度测量与分析 | 第30-33页 |
| ·膜基结合力测试与结果分析 | 第33-39页 |
| ·膜基结合力测试 | 第33-34页 |
| ·结果与分析 | 第34-39页 |
| ·粗糙度测量与结果分析 | 第39-42页 |
| ·粗糙度测量 | 第39-40页 |
| ·结果与分析 | 第40-42页 |
| ·摩擦系数测试与结果分析 | 第42-45页 |
| ·摩擦系数测试 | 第42页 |
| ·结果与分析 | 第42-45页 |
| ·磨损量试验与结果分析 | 第45-46页 |
| ·磨损量测试 | 第45页 |
| ·结果与分析 | 第45-46页 |
| ·腐蚀试验与结果分析 | 第46-49页 |
| ·腐蚀试验 | 第46-47页 |
| ·结果与分析 | 第47-49页 |
| 第四章 沉积机理 | 第49-54页 |
| ·化学气相沉积氮化钒涂层的热力学计算 | 第49-51页 |
| ·CVD 过程中温度对 VN 涂层沉积速率的影响 | 第51-54页 |
| 第五章 总结 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 个人简历 在读期间发表的学术论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
