248nm准分子激光与三种无机非金属光学材料相互作用研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·激光与材料相互作用研究背景 | 第9-16页 |
| ·激光与三种光学材料相互作用研究目的 | 第9页 |
| ·激光技术和激光器发展情况 | 第9-13页 |
| ·激光与材料相互作用研究回顾 | 第13-16页 |
| ·三种光学材料简介 | 第16-20页 |
| ·玻璃（Glass） | 第16-17页 |
| ·硅(Silicon) | 第17-18页 |
| ·金刚石（Diamond） | 第18-20页 |
| 第2章 激光与材料相互作用的研究方法及理论背景 | 第20-27页 |
| ·激光与材料相互作用研究方法 | 第20-22页 |
| ·实验研究方法 | 第20页 |
| ·数值模拟 | 第20-21页 |
| ·实验联系理论模型的研究方法 | 第21-22页 |
| ·激光与固体材料相互作用的理论背景 | 第22-27页 |
| ·激光与固体相互作用理论基础 | 第22-25页 |
| ·激光作用于固体的物理过程 | 第25-27页 |
| 第3章 激光诱导光学材料损伤机理 | 第27-38页 |
| ·激光损伤光学材料的理论背景 | 第27-32页 |
| ·激光损伤光学材料的机制 | 第27-30页 |
| ·准分子激光损伤光学材料的机理分类 | 第30-32页 |
| ·激光损伤材料的实验研究方法 | 第32-38页 |
| ·激光对材料损伤的判定方法 | 第32-34页 |
| ·损伤阈值和实验确定方法 | 第34-38页 |
| 第4章 激光损伤实验方案与样品测试 | 第38-47页 |
| ·激光损伤实验方案 | 第38-45页 |
| ·使用实验设备简介 | 第38-39页 |
| ·激光损伤实验样品准备 | 第39-41页 |
| ·损伤实验工艺流程 | 第41-44页 |
| ·实验参数对激光损伤实验结果的影响 | 第44-45页 |
| ·激光损伤样品观察和测试 | 第45-47页 |
| ·观察手段简介 | 第45-46页 |
| ·测试方法简介 | 第46-47页 |
| 第5章 激光损伤实验结果分析与讨论 | 第47-67页 |
| ·激光损伤玻璃 | 第47-52页 |
| ·激光损伤玻璃形貌宏观分析 | 第47-49页 |
| ·激光损伤玻璃形貌微观分析 | 第49-52页 |
| ·激光损伤单晶硅 | 第52-58页 |
| ·激光损伤单晶硅形貌宏观分析 | 第52-54页 |
| ·激光损伤单晶硅微观分析 | 第54-57页 |
| ·激光损伤单晶硅 XRD 分析 | 第57-58页 |
| ·激光损伤金刚石膜 | 第58-62页 |
| ·激光损伤类金刚石膜形貌宏观分析 | 第58-59页 |
| ·激光损伤类金刚石膜形貌微观分析 | 第59-61页 |
| ·激光损伤金刚石膜 XRD 分析 | 第61-62页 |
| ·激光损伤三种材料横向对比 | 第62-67页 |
| ·激光损伤三种材料能量密度对比分析 | 第62-65页 |
| ·激光损伤三种材料形貌对比分析 | 第65-67页 |
| 第6章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
