| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·研究背景 | 第8-15页 |
| ·纳米材料电性能测试 | 第8-10页 |
| ·显微操纵仪 | 第10-12页 |
| ·扫描电子显微镜微纳测试与加工平台 | 第12-15页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第15-17页 |
| 第二章 显微操纵仪探针制备技术 | 第17-30页 |
| ·引言 | 第17-19页 |
| ·实验部分 | 第19-24页 |
| ·实验原理 | 第19-20页 |
| ·模型建立 | 第20-22页 |
| ·实验设备 | 第22-23页 |
| ·实验过程 | 第23-24页 |
| ·结果与讨论 | 第24-29页 |
| ·开始提起时间的确定 | 第24-26页 |
| ·提起部分轮廓线斜率k的确定 | 第26-28页 |
| ·探针的设计与制备 | 第28-29页 |
| ·存在问题及改进方法 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 电子束固化导电胶的制备 | 第30-45页 |
| ·引言 | 第30-33页 |
| ·实验部分 | 第33-38页 |
| ·实验原料 | 第33-34页 |
| ·实验仪器及表征设备 | 第34页 |
| ·实验过程 | 第34-35页 |
| ·固化原理 | 第35-38页 |
| ·表征方法 | 第38-41页 |
| ·固化性能的确定 | 第38-39页 |
| ·导电率的测定 | 第39-41页 |
| ·结果与讨论 | 第41-44页 |
| ·固化情况的测定 | 第41-43页 |
| ·导电率的测定 | 第43-44页 |
| ·本章结论 | 第44-45页 |
| 第四章 纳米材料电性能的在线测量 | 第45-65页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·实验设备 | 第46页 |
| ·利用自制探针对 CNTs 进行操纵 | 第46-47页 |
| ·碳纳米管 I-V 曲线的测量 | 第47-57页 |
| ·除去探针表面氧化层 | 第47-49页 |
| ·建立欧姆接触 | 第49-51页 |
| ·不同辐射时间对碳纳米管 I-V 曲线的影响 | 第51-53页 |
| ·摘取碳纳米管 | 第53-54页 |
| ·不同长度碳纳米管 I-V 曲线 | 第54-56页 |
| ·两根碳纳米管搭接后 I-V 曲线的测定 | 第56-57页 |
| ·单根 ZnO 棒 I-V 曲线的测定 | 第57-60页 |
| ·单根纯ZnO棒I-V曲线的测定 | 第57-58页 |
| ·单根 Al 掺杂 ZnO 棒 I-V 曲线的测定 | 第58-60页 |
| ·Al 掺杂 ZnO 薄膜 I-V 曲线的测定 | 第60-63页 |
| ·直接测定Al掺杂ZnO薄膜I-V曲线 | 第60-62页 |
| ·溅射金电极后测定Al掺杂ZnO薄膜I-V曲线 | 第62-63页 |
| ·本章结论 | 第63-65页 |
| 第五章 全文结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |