基于隧道效应的微弱电流检测装置的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究背景 | 第12-14页 |
| ·研究目的 | 第13-14页 |
| ·研究意义 | 第14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-19页 |
| ·微弱电流检测技术的研究现状 | 第14-15页 |
| ·SPM 研究现状 | 第15-19页 |
| ·本文主要研究内容 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 SPM 系统微弱电流检测装置设计方案 | 第20-25页 |
| ·SPM 系统微弱电流检测设计方案 | 第20页 |
| ·SPM 系统的组成部分简介 | 第20-24页 |
| ·驱动系统 | 第20-22页 |
| ·检测系统 | 第22页 |
| ·控制系统 | 第22-23页 |
| ·其它附件 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 微弱电流检测电路设计 | 第25-38页 |
| ·微电流测量方法 | 第25-28页 |
| ·微电流测量方法一高输入阻抗法 | 第25-27页 |
| ·测量微电流的方法—积分法 | 第27-28页 |
| ·微弱电流信号检测原理 | 第28-29页 |
| ·I/V 转换电路的设计以及电路仿真 | 第29-31页 |
| ·I/V 转换电路的后续处理电路 | 第31-32页 |
| ·电路设计及减少噪声信号干扰的措施 | 第32-33页 |
| ·器件选择 | 第32页 |
| ·电路设计 | 第32页 |
| ·减少噪声信号干扰的措施 | 第32-33页 |
| ·I/V 转换电路及后续处理电路 PCB 设计 | 第33页 |
| ·电路的调试 | 第33-37页 |
| ·产生微弱电流的方法 | 第33-34页 |
| ·调试 I/V 转换电路和后续处理电路的实验结果 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 制备 SPM 系统探针 | 第38-53页 |
| ·概述 | 第38页 |
| ·制备 SPM 探针最原始的电化学腐蚀原理 | 第38-40页 |
| ·制备 SPM 探针技术方案的研究 | 第40-45页 |
| ·制备探针的关键技术及难点 | 第45-46页 |
| ·自制 SPM 探针的设计及实验结果 | 第46-52页 |
| ·SPM 探针的实验装置设计的原理 | 第46-47页 |
| ·实验过程以及实验结果 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 SPM 系统微弱电流检测的实现和实验结果 | 第53-62页 |
| ·概述 | 第53-54页 |
| ·SPM 系统实现 | 第54-56页 |
| ·SPM 系统实验结果及分析 | 第56-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·全文总结 | 第62-63页 |
| ·研究展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第68页 |
