摘要 | 第1-10页 |
ABSTRACT | 第10-14页 |
符号表 | 第14-15页 |
第一章 绪论 | 第15-44页 |
·概述 | 第15-16页 |
·半导体气敏材料发展概况 | 第16-17页 |
·氧化物半导体的气敏机理 | 第17-23页 |
·钙钛矿型氧化物ABO_3气敏材料研究概况 | 第23-29页 |
·结构性质 | 第23-25页 |
·气敏特性 | 第25-29页 |
·研究课题的选取 | 第29-31页 |
参考文献 | 第31-44页 |
第二章 样品的制备及测试 | 第44-56页 |
·纳米粉体的制备及气敏元件测试 | 第44-47页 |
·溶胶—凝胶法制备纳米粉体 | 第44-45页 |
·气敏元件的制备及测试 | 第45-46页 |
·气敏元件的特性参数 | 第46-47页 |
·薄膜样品的制备 | 第47-51页 |
·射频磁控溅射系统 | 第47-49页 |
·溅射基本原理 | 第49-50页 |
·靶的制备 | 第50页 |
·衬底的选择与处理 | 第50页 |
·薄膜的制备 | 第50-51页 |
·测试方法介绍 | 第51-53页 |
参考文献 | 第53-56页 |
第三章 A位Pb掺杂粉体材料的特性研究 | 第56-77页 |
·La_(1-x)Pb_xFeO_3材料的结构分析 | 第56-60页 |
·La_(1-x)Pb_xFeO_3材料的电导-温度特性 | 第60-63页 |
·La_(1-x)Pb_xFeO_3材料的乙醇气敏性能研究 | 第63-68页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)FeO_3气敏元件对氢气的气敏性能研究 | 第68-72页 |
·小结 | 第72-74页 |
参考文献 | 第74-77页 |
第四章 B位过渡金属掺杂粉体的特性研究 | 第77-106页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Co_xO_3材料的结构及性能研究 | 第78-89页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Co_xO_3材料的结构分析 | 第78-80页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Co_xO_3材料的电导特性 | 第80-82页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Co_xO_3对CO气敏特性研究 | 第82-86页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_3/SnO_2气敏材料研究 | 第86-89页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Ni_xO_3材料的结构及性能研究 | 第89-98页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Ni_xO_3材料的结构分析 | 第89-91页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Ni_xO_3材料的电导特性 | 第91-93页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(1-x)Ni_xO_3材料对CO气敏特性研究 | 第93-98页 |
·B位离子对CO气敏性能的影响 | 第98-99页 |
·小结 | 第99-101页 |
参考文献 | 第101-106页 |
第五章 La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_3薄膜性能研究 | 第106-117页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_3薄膜的制备 | 第106-107页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_3薄膜的结构分析 | 第107-109页 |
·La_(0.8)Pb_(0.2)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_3薄膜的CO气敏特性 | 第109-113页 |
·小结 | 第113-114页 |
参考文献 | 第114-117页 |
致谢 | 第117-118页 |
博士期间发表论文情况 | 第118-121页 |
学位论文评阅及答辩情况表 | 第121页 |