| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·微表面参数测量研究现状 | 第10-12页 |
| ·测量微表面参数方法 | 第12-14页 |
| ·本论文的研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 激光干涉制备微纳双重结构原理 | 第15-20页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·激光干涉理论 | 第15-18页 |
| ·激光干涉光刻技术 | 第18-19页 |
| ·小结 | 第19-20页 |
| 第3章 激光干涉微纳双重结构模拟及图像采集 | 第20-35页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·激光干涉模拟 | 第20-29页 |
| ·三光束干涉模拟 | 第20-21页 |
| ·四光束干涉模拟 | 第21-24页 |
| ·六光束干涉模拟 | 第24-29页 |
| ·激光干涉图像采集 | 第29-34页 |
| ·三光束干涉图像采集 | 第30-31页 |
| ·四光束干涉图像采集 | 第31-32页 |
| ·六光束干涉图像采集 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第4章 微纳双重结构参数检测方法及结果分析 | 第35-53页 |
| ·引言 | 第35-36页 |
| ·提取CCD采集干涉图调制方向剖面曲线的方法进行参数测量 | 第36-43页 |
| ·CCD采集干涉图调制周期提取结果分析 | 第40-41页 |
| ·调制周期提取结果误差分析 | 第41-43页 |
| ·采用两种方法对制备双重结构样品图进行参数测量 | 第43-51页 |
| ·提取制备样品图像调制方向剖面曲线的方法进行参数测量 | 第44-46页 |
| ·对制备样品图像进行分割处理及收缩运算的方法来测量参数 | 第46-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第5章 总结与展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
