基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题研究的背景、目的和意义 | 第9-10页 |
| ·课题研究的现状 | 第10-11页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 微机电系统与微加速度计 | 第13-27页 |
| ·微机电系统的研究 | 第13-19页 |
| ·微机电系统的概术 | 第13-15页 |
| ·MEMS 技术的发展及应用 | 第15-18页 |
| ·MEMS 传感器的发展及应用 | 第18-19页 |
| ·微加速度计的研究 | 第19-26页 |
| ·微加速度计的发展及应用 | 第19-20页 |
| ·常见微加速度计的结构类型 | 第20-25页 |
| ·微加速度计的设计问题 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 光子晶体的研究 | 第27-40页 |
| ·光子晶体的概述 | 第27-32页 |
| ·光子晶体的概念及性质 | 第27-29页 |
| ·光子晶体的分类和制作方法 | 第29-32页 |
| ·光子晶体的主要分析方法 | 第32-37页 |
| ·平面波展开法 | 第32-33页 |
| ·等效转移传输矩阵方法 | 第33-35页 |
| ·时域差分或有限差分方法 | 第35-36页 |
| ·多重散射矩阵方法 | 第36-37页 |
| ·光子晶体的应用 | 第37-39页 |
| ·光子晶体波导 | 第37-38页 |
| ·高发射率的光子微波天线 | 第38页 |
| ·光子晶体传感器 | 第38-39页 |
| ·无阈值激光器 | 第39页 |
| ·极窄带的选频滤波器 | 第39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 介观效应 | 第40-46页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·介观压阻效应 | 第40-42页 |
| ·介观压光效应 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第五章 基于镜像结构光子晶体微加速度计设计 | 第46-54页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·一维镜像结构光子晶体光学特性 | 第46-49页 |
| ·微加速度计的结构设计及分析 | 第49-52页 |
| ·微加速度计的结构仿真 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结及展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
