多线切割机关键问题研究与模拟仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·硅片切割技术 | 第11-14页 |
| ·金刚石外圆锯切片技术 | 第11-12页 |
| ·金刚石内圆锯切片技术 | 第12页 |
| ·自由磨粒多线切割技术 | 第12-14页 |
| ·固结金刚石多线切割技术 | 第14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·材料去除机理的国内外现状 | 第15页 |
| ·有限元模拟在切割机上的应用现状 | 第15-16页 |
| ·主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 硅材料多线切割加工机理研究 | 第17-28页 |
| ·自由磨粒多线切割中磨粒运动状态 | 第17-21页 |
| ·自由磨料多线切割材料去除机理 | 第21-26页 |
| ·压痕断裂理论 | 第21-23页 |
| ·滚动—压痕模型 | 第23-24页 |
| ·流体动压模型 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 3 自由磨粒多线切割中磨粒冲击行为的模拟仿真 | 第28-46页 |
| ·有限元基础 | 第28-35页 |
| ·有限元方法的一般步骤 | 第28-31页 |
| ·弹性力学知识 | 第31-33页 |
| ·动力学方程 | 第33-34页 |
| ·有限元接触理论 | 第34-35页 |
| ·冲击磨损的实验模型 | 第35-38页 |
| ·碳化硅磨粒冲击硅晶体仿真 | 第38-45页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·模型的建立 | 第39-40页 |
| ·接触的定义 | 第40-41页 |
| ·边界条件 | 第41-42页 |
| ·结果和讨论 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 4 多线切割机中切割线研究 | 第46-62页 |
| ·切割线几何参数研究 | 第46-49页 |
| ·带预应力切割线模态分析 | 第49-55页 |
| ·有预应力模态分析的步骤 | 第50页 |
| ·模型的建立 | 第50-51页 |
| ·加载及求解 | 第51-52页 |
| ·结果和讨论 | 第52-55页 |
| ·切割线振动的研究 | 第55-61页 |
| ·切割线振对加加工环境的影响 | 第55-56页 |
| ·切割线振动模型的建立 | 第56-59页 |
| ·切割线张力、速度、振幅的仿真计算 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-65页 |
| ·论文总结 | 第62-64页 |
| ·未来展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
