微晶硅薄膜的制备及其在太阳电池中的应用

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·太阳电池的研究意义	第8页
·太阳电池的发展历程	第8-10页
·从非晶硅到微晶硅	第10-13页
·本论文的目标和组织结构	第13-14页
2 VHF-PECVD 沉积系统与微晶硅沉积原理	第14-22页
·VHF-PECVD 原理与系统简介	第14-17页
·PECVD 制备微晶硅成膜的主要原理	第17-22页
3 微晶硅材料和电池的制备及其表征	第22-30页
·微晶硅材料实验	第22-26页
·微晶硅电池的制备与 I-V 特性的测量	第26-30页
4 沉积参数对微晶硅薄膜特性的影响	第30-51页
·硅烷浓度对本征微晶硅材料特性的影响	第30-37页
·衬底加热温度对本征微晶硅材料特性的影响	第37-39页
·辉光功率对本征微晶硅材料特性的影响	第39-44页
·沉积时间对薄膜特性的影响	第44-51页
5 微晶硅太阳电池的制备	第51-56页
·高电导率 p、n 层材料的制备	第51页
·电池的制备技术研究	第51-56页
6 总结	第56-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-67页
附录1 攻读硕士学位期间发表的论文	第67页