| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第一章 引言 | 第14-29页 |
| 第一节 太阳能电池的发展历史及现状 | 第14页 |
| 第二节 CIGS 薄膜电池的发展 | 第14-17页 |
| 第三节 柔性衬底 CIGS 薄膜电池 | 第17-22页 |
| ·柔性衬底 CIGS 薄膜太阳电池的优势 | 第17-18页 |
| ·柔性不锈钢 CIGS 电池目前存在的问题及需要研究的内容 | 第18-22页 |
| 第四节 本论文研究的主要内容及创新点 | 第22-24页 |
| 参考文献 | 第24-29页 |
| 第二章 CI(G)S 薄膜材料的基本理论及不锈钢衬底 CIGS 薄太阳电池的制备 | 第29-42页 |
| 第一节 CI(G)S 材料的基本理论 | 第29-36页 |
| ·CI(G)S 薄膜材料的晶体结构 | 第29-30页 |
| ·CIS 和 CGS 材料的电子结构与能带结构 | 第30-34页 |
| ·CI(Ga)S 薄膜材料的缺陷及导电类型 | 第34-36页 |
| 第二节 CIGS 薄膜太阳电池制备方法 | 第36-39页 |
| ·CIGS 吸收层的制备方法 | 第36-37页 |
| ·背电极 Mo 薄膜的的制备工艺 | 第37-38页 |
| ·缓冲层 CdS 的制备工艺 | 第38页 |
| ·窗口层 ZnO 的制备工艺 | 第38页 |
| ·窗口层 Ni-Al 电极的制备工艺 | 第38页 |
| ·不锈钢衬底上阻挡层和绝缘层的沉积 | 第38-39页 |
| 第三节 CIGS 薄膜及 CIGS 太阳电池的表征手段 | 第39页 |
| ·CIGS 吸收层及相关薄膜层的表征手段 | 第39页 |
| ·CIGS 电池的表征手段 | 第39页 |
| 第四节 本章小结 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第三章 不锈钢衬底 CIGS 薄膜电池中 Fe 的扩散研究 | 第42-70页 |
| 第一节 不锈钢衬底上沉积 Mo 薄膜的研究 | 第42-45页 |
| ·不锈钢衬底的粗糙度 | 第42-43页 |
| ·不锈钢衬底上沉积 Mo 背电极的形貌 | 第43页 |
| ·不锈钢衬底上 Mo 薄膜的结构 | 第43-45页 |
| 第二节 衬底温度与不锈钢衬底 CIGS 结构和形貌 | 第45-50页 |
| ·不锈钢衬底 CIGS 薄膜制备工艺 | 第45-46页 |
| ·衬底温度与 CIGS 薄膜的结构 | 第46-49页 |
| ·衬底温度 Ts2与不锈钢衬底 CIGS 薄膜形貌 | 第49-50页 |
| 第三节 不锈钢衬底 CIGS 薄膜中 Fe 的扩散 | 第50-54页 |
| ·衬底温度(Ts2)与 Fe 的扩散 | 第50-52页 |
| ·不锈钢衬底/Mo/CIGS 结构缺陷与 Fe 的分布 | 第52-53页 |
| ·衬底温度对不锈钢衬底 CIGS 电池的影响 | 第53-54页 |
| 第四节 Se 的束流对 Fe 扩散的影响 | 第54-63页 |
| ·Se 束流对 CIGS 薄膜结构的影响 | 第54-57页 |
| ·Se 束流对 Fe 在 CIGS/Mo 薄膜系统中分布的影响 | 第57-59页 |
| ·Se 束流对不锈钢衬底 CIGS 电池性能的影响 | 第59-63页 |
| 第五节 化学水浴法制备 CdS 缓冲层时 Fe 的扩散行为 | 第63-65页 |
| ·Se 对不锈钢的腐蚀 | 第63-64页 |
| ·Fe-Se 化合物对 CIGS 电池的影响 | 第64-65页 |
| 第六节 本章小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 第四章 CIGS 薄膜择优取向研究及其对电池性能的影响 | 第70-104页 |
| 第一节 工艺参数对 CIGS 薄膜择优取向的影响 | 第70-83页 |
| ·Ts1对 CIGS 薄膜结构的影响 | 第70-74页 |
| ·SMR 对 CIGS 薄膜的择优取向影响 | 第74-77页 |
| ·第二步衬底温度(Ts2)对 CIGS 薄膜取向的影响 | 第77-81页 |
| ·薄膜厚度与 CIGS 薄膜的晶面取向 | 第81-83页 |
| 第二节 外掺杂元素对 CIGS 薄膜择优取向的影响 | 第83-97页 |
| ·Fe 对 CIGS 薄膜择优取向的研究 | 第83-92页 |
| ·Na 对 CIGS 薄膜的择优取向影响 | 第92-95页 |
| ·(220)-CIGS 薄膜表面的结构研究 | 第95-97页 |
| 第三节 CIGS 薄膜择优取向对器件性能的影响 | 第97-100页 |
| 第四节 本章小结 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-104页 |
| 第五章 不锈钢衬底 CIGS 薄膜电池阻挡层和电绝缘层 | 第104-142页 |
| 第一节 Mo 薄膜结构与其对杂质的阻挡作用 | 第104-112页 |
| ·溅射气压对 Mo 薄膜结构的影响 | 第105-107页 |
| ·Mo 薄膜结构对 Fe 在 CIGS 薄膜中分布的影响 | 第107-109页 |
| ·多层 Mo 薄膜作为背电极对 CIGS 薄膜电池的影响 | 第109-112页 |
| 第二节 不锈钢衬底上 ZnO 薄膜的研究 | 第112-117页 |
| ·溅射气压与 ZnO 薄膜的结构 | 第113-115页 |
| ·溅射功率与 ZnO 薄膜的结构 | 第115-116页 |
| ·退火对不锈钢衬底上 ZnO 薄膜结构、形貌和电阻的影响 | 第116-117页 |
| 第三节 Cr 薄膜为杂质阻挡层的研究 | 第117-124页 |
| ·Cr 薄膜的制备 | 第117-118页 |
| ·不锈钢衬底 Cr 薄膜与 Mo 薄膜结构 | 第118-120页 |
| ·不锈钢衬底含 Cr 与不含 Cr 阻挡层、Mo 电极与 CIGS 薄膜结构 | 第120-121页 |
| ·Cr 薄膜对 Fe 在 CIGS/Mo 系统中分布的影响 | 第121-122页 |
| ·Cr 薄膜对 CIGS 薄膜电池的影响 | 第122-124页 |
| 第四节 AlN 薄膜为杂质阻挡层和绝缘层的研究 | 第124-133页 |
| ·AlN 薄膜的性质与制备 | 第124-125页 |
| ·不同厚度 AlN 薄膜的结构和形貌 | 第125-126页 |
| ·高温退火对不同厚度 AlN 薄膜电阻率的影响 | 第126-128页 |
| ·不锈钢衬底沉积的 AlN 薄膜的结构 | 第128-129页 |
| ·不锈钢衬底上的 AlN 薄膜与 Mo 薄膜结构 | 第129-130页 |
| ·AlN 薄膜与 CIGS 吸收层结构 | 第130-132页 |
| ·AlN 薄膜对 CIGS 薄膜电池性能的影响 | 第132-133页 |
| 第五节 AlN/Cr 复合式薄膜为绝缘阻挡层的研究 | 第133-138页 |
| ·AlN/Cr 复合式薄膜的制备 | 第134页 |
| ·AlN/Cr 复合薄膜与 Mo 背电极结构 | 第134-135页 |
| ·AlN/Cr 复合薄膜对 CIGS 薄膜形貌的影响 | 第135-136页 |
| ·AlN/Cr 复合薄膜对 Fe、Cr 扩散的影响及退火研究 | 第136-137页 |
| ·AlN/Cr 复合式薄膜对 CIGS 薄膜电池的影响 | 第137-138页 |
| 第六节 本章小结 | 第138-140页 |
| 参考文献 | 第140-142页 |
| 第六章 结论与展望 | 第142-161页 |
| 第一节 论文总结 | 第142-147页 |
| ·不锈钢衬底表面对 Mo 和 CIGS 薄膜结构影响的研究 | 第142页 |
| ·不锈钢衬底 CIGS 薄膜电池中 Fe 扩散的研究 | 第142-144页 |
| ·CIGS 薄膜择优取向的研究 | 第144-145页 |
| ·不锈钢衬底 CIGS 薄膜电池的阻挡层和绝缘层的研究 | 第145-147页 |
| 第二节 展望 | 第147-149页 |
| 参考文献 | 第149-161页 |
| 致谢 | 第161-162页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第162-163页 |
