| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·AZO 透明导电薄膜的结构和特性 | 第9-12页 |
| ·AZO 透明导电薄膜的应用前景 | 第12-14页 |
| ·AZO 透明导电薄膜的研究现状和发展趋势 | 第14-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-18页 |
| 2 AZO 薄膜的制备和分析测试技术 | 第18-27页 |
| ·AZO 薄膜的制备技术 | 第18-23页 |
| ·AZO 薄膜的分析测试技术 | 第23-27页 |
| 3 类单晶AZO 薄膜的研究 | 第27-43页 |
| ·磁控溅射的原理 | 第27-28页 |
| ·类单晶AZO 薄膜的制备 | 第28-31页 |
| ·类单晶AZO 薄膜的实验结果和讨论 | 第31-43页 |
| 4 不同衬底上AZO 薄膜性能的研究 | 第43-50页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·不同衬底上AZO 薄膜的制备 | 第43-44页 |
| ·不同衬底上AZO 薄膜的实验结果和讨论 | 第44-50页 |
| 5 结论 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58-59页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利及获奖 | 第59页 |