| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·研究背景 | 第12-14页 |
| ·论文结构安排 | 第14-15页 |
| 参考文献 | 第15-17页 |
| 第二章 高性能长波长PIN光探测器概述 | 第17-47页 |
| ·PIN光探测器基本原理 | 第17-18页 |
| ·PIN光探测器性能参数 | 第18-23页 |
| ·量子效率分析 | 第18页 |
| ·高速特性分析 | 第18-22页 |
| ·暗电流特性分析 | 第22-23页 |
| ·高性能长波长PIN光探测器研究进展 | 第23-44页 |
| ·InGaAs/InP漂移增强型双吸收层PINIP光探测器 | 第23-24页 |
| ·集成垂直腔半导体光放大器的可调谐高响应度长波长PIN光探测器 | 第24-25页 |
| ·120GHz长波长InGaAs/InP低电容PIN光探测器 | 第25-27页 |
| ·谐振腔增强型(RCE)光探测器 | 第27-29页 |
| ·“一镜斜置三镜腔(OMITMC)”光探测器 | 第29-30页 |
| ·长波长四镜三腔(4M3C)光探测器 | 第30-31页 |
| ·具有多腔介质薄膜滤波器结构的平顶陡边长波长PIN光探测器 | 第31-34页 |
| ·吸收腔P区厚度渐变的平顶陡边长波长PIN光探测器 | 第34-37页 |
| ·具有台阶滤波腔的平顶陡边长波长PIN光探测器 | 第37-38页 |
| ·基于亚波长光栅级联结构的平顶陡边长波长PIN光探测器 | 第38-40页 |
| ·基于微环谐振腔级联结构的平顶陡边长波长PIN光探测器 | 第40-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 第三章 高性能长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP多结PIN光探测器的设计 | 第47-60页 |
| ·长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP单结PIN光探测器BEP分析 | 第47-53页 |
| ·高性能长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP多结PIN光探测器的设计 | 第53-58页 |
| ·高性能长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP多结PIN光探测(?) | 第53-54页 |
| ·高性能长波长In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP多结PIN光探测器的BEP分析 | 第54-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第四章 基于亚波长光栅导模共振滤波器的新型平顶陡边长波长PIN光探测器的设计 | 第60-84页 |
| ·亚波长光栅导模共振高反镜设计 | 第61-73页 |
| ·理论分析 | 第61-63页 |
| ·单层亚波长光栅导模共振高反镜设计 | 第63-65页 |
| ·双层亚波长光栅导模共振高反镜设计 | 第65-67页 |
| ·三层亚波长光栅导模共振高反镜设计 | 第67-68页 |
| ·长波长InP基三层亚波长光栅导模共振高反镜设计 | 第68-73页 |
| ·单腔导模共振滤波器设计 | 第73-76页 |
| ·双腔耦合导模共振滤波器设计 | 第76-79页 |
| ·基于亚波长光栅导模共振滤波器的新型平顶陡边长波长PIN光探测器的设计 | 第79-83页 |
| ·基于单腔导模共振滤波器的光探测器设计 | 第79-81页 |
| ·基于双腔耦合导模共振滤波器的光探测器设计 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-84页 |
| 第五章 新型高性能长波长PIN光探测器的制作及性能测试 | 第84-92页 |
| ·集成GaAs基GaAs/AlGaAs DBR的双p-n结光探测器制作及性能测试 | 第84-89页 |
| ·器件外延生长结构 | 第85-86页 |
| ·器件制作过程 | 第86-87页 |
| ·器件测试结果分析 | 第87-88页 |
| ·器件测试平台简介 | 第88-89页 |
| ·新型平顶陡边长波长PIN光探测器的制作步骤探索 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-94页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第94页 |
