| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-38页 |
| ·研究背景概述 | 第11-12页 |
| ·能量采集微能源技术 | 第12-17页 |
| ·太阳能（Solar Energy） | 第13-14页 |
| ·热能（温度梯度） | 第14-15页 |
| ·射频辐射能 | 第15页 |
| ·机械振动能 | 第15-17页 |
| ·振动能量采集技术 | 第17-21页 |
| ·静电式振动能量采集器 | 第17-18页 |
| ·电磁式振动能量采集器 | 第18-19页 |
| ·磁致伸缩式振动能量采集器 | 第19-20页 |
| ·压电式振动能量采集器 | 第20-21页 |
| ·压电式能量采集器研究进展 | 第21-31页 |
| ·本论文的研究意义和主要内容 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-38页 |
| 第二章 微压电振动能量采集器的相关理论及结构设计 | 第38-73页 |
| ·压电材料基本理论 | 第38-43页 |
| ·压电效应与压电方程 | 第38-40页 |
| ·压电材料 | 第40-43页 |
| ·微压电能量采集器的两种结构 | 第43-45页 |
| ·微压电能量采集器的理论模型 | 第45-58页 |
| ·压电能量采集器机电耦合模型 | 第46-50页 |
| ·硅矩形结构压电能量采集器的理论分析 | 第50-55页 |
| ·铜梯形结构压电能量采集器的理论分析 | 第55-58页 |
| ·微压电能量采集器结构参数优化 | 第58-70页 |
| ·硅矩形压电能量采集器的结构参数对器件性能的影响 | 第59-63页 |
| ·铜梯形压电能量采集器的结构参数对器件性能的影响 | 第63-66页 |
| ·键合层厚度的影响及结构稳定性分析 | 第66-69页 |
| ·微压电能量采集器的结构参数优化结果 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第三章 压电厚膜制备及其图形化研究 | 第73-92页 |
| ·概述 | 第73-74页 |
| ·压电厚膜的制备研究 | 第74-87页 |
| ·低温环氧键合技术 | 第74-82页 |
| ·减薄技术 | 第82-85页 |
| ·压电厚膜电学性能测试 | 第85-87页 |
| ·压电厚膜图形化研究 | 第87-89页 |
| ·PZT 厚膜的湿法刻蚀图形化 | 第87-88页 |
| ·压电厚膜的微切割图形化 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-92页 |
| 第四章 压电振动能量采集器的 MEMS 加工工艺研究 | 第92-115页 |
| ·能量采集器 MEMS 工艺流程 | 第92-98页 |
| ·镍质量块制作工艺流程 | 第92-93页 |
| ·铜梯形压电悬臂梁制作的工艺流程 | 第93-96页 |
| ·硅矩形压电悬臂梁制作的工艺流程 | 第96-98页 |
| ·能量采集器制备中相关 MEMS 工艺研究 | 第98-109页 |
| ·硅热氧化工艺 | 第98页 |
| ·光刻工艺 | 第98-103页 |
| ·溅射工艺 | 第103-104页 |
| ·电镀工艺 | 第104页 |
| ·刻蚀工艺 | 第104-109页 |
| ·微能量采集器的组装 | 第109-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-115页 |
| 第五章 微压电振动能量采集器性能实验研究 | 第115-138页 |
| ·测试系统 | 第115-116页 |
| ·铜梯形结构能量采集器性能测试与分析 | 第116-118页 |
| ·谐振频率及开路电压测试 | 第116-117页 |
| ·功率输出测试 | 第117-118页 |
| ·硅矩形结构 PZT 能量采集器性能测试与分析 | 第118-129页 |
| ·谐振频率 | 第118-119页 |
| ·开路电压 | 第119-121页 |
| ·闭环输出电压、功率及电流 | 第121-123页 |
| ·半功率带宽、品质因子和阻尼比 | 第123-125页 |
| ·器件输出性能的实测值与理论值对比 | 第125-126页 |
| ·电容充电性能 | 第126-129页 |
| ·硅矩形结构 PMNT 能量采集器性能测试与分析 | 第129-131页 |
| ·谐振频率的测试 | 第130页 |
| ·输出电压及功率测试 | 第130-131页 |
| ·液体应用环境实验研究 | 第131-134页 |
| ·本章小结 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-138页 |
| 第六章 总结与展望 | 第138-142页 |
| ·本论文的主要工作及结论 | 第138-140页 |
| ·本文创新点小结 | 第140-141页 |
| ·未来工作展望 | 第141-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及专利 | 第143-146页 |