压电微泵研制及阀组的超声波键合研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·微泵的应用及研究意义 | 第10-11页 |
| ·微泵研究现状 | 第11-17页 |
| ·微泵分类 | 第11-12页 |
| ·压电微泵研究现状 | 第12-15页 |
| ·微泵常用材料 | 第15-16页 |
| ·微泵键合方法 | 第16-17页 |
| ·本课题的研究内容及意义 | 第17-19页 |
| 2 微泵工作原理及结构设计 | 第19-25页 |
| ·微泵工作原理 | 第19-20页 |
| ·微泵结构设计 | 第20-23页 |
| ·针对60 kHz超声波焊机的微泵结构设计 | 第20-21页 |
| ·针对30 kHz超声波焊机的微泵结构设计 | 第21-23页 |
| ·微泵尺寸和微止回阀片结构 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 微泵振动性能仿真分析 | 第25-36页 |
| ·压电片谐响应分析 | 第26-29页 |
| ·压电材料和压电方程 | 第26页 |
| ·ANSYS处理过程 | 第26-28页 |
| ·谐响应分析结果 | 第28-29页 |
| ·微泵泵体(盛水)模态分析 | 第29-33页 |
| ·ANSYS声场流固耦合分析 | 第29-30页 |
| ·ANSYS处理过程 | 第30-31页 |
| ·模态分析结果 | 第31-33页 |
| ·阀片(水中)模态分析 | 第33-35页 |
| ·ANSYS处理过程 | 第33页 |
| ·静水模态分析结果 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 微泵零件加工及超声波键合 | 第36-46页 |
| ·SU-8胶阀片制作工艺 | 第36-38页 |
| ·基于60 kHz超声波焊机的微泵阀组键合 | 第38-42页 |
| ·60 kHz超声波焊接系统 | 第38-40页 |
| ·基于压力自适应方法的微泵阀组键合 | 第40-42页 |
| ·基于30 kHz超声波焊机的微泵阀组键合 | 第42-45页 |
| ·30 kHz超声波焊接系统 | 第42-43页 |
| ·基于能量模式的微泵阀组键合 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 微泵泵送性能测试与分析 | 第46-54页 |
| ·微泵泵送性能测试系统 | 第46-47页 |
| ·采用60 kHz超声波焊机焊接的微泵性能测试 | 第47-50页 |
| ·大尺寸微泵性能测试 | 第47-48页 |
| ·小尺寸微泵性能测试 | 第48-50页 |
| ·采用30 kHz超声波焊机焊接的微泵性能测试 | 第50-51页 |
| ·结果与讨论 | 第51-53页 |
| ·微泵最佳工作频率 | 第51-53页 |
| ·有限元分析与实验结果偏差分析 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
