高介微波介质薄膜研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·介质薄膜的性质及应用 | 第11-17页 |
| ·常用介质薄膜的性质及要求 | 第12-13页 |
| ·铁电薄膜的特性与应用 | 第13-15页 |
| ·用于MIM电容的介质薄膜 | 第15-17页 |
| ·高介电常数微波介质陶瓷及薄膜的研究现状 | 第17-19页 |
| ·微波介质陶瓷的研究现状 | 第17-19页 |
| ·高介微波介质薄膜的研究现状 | 第19页 |
| ·本论文的研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验方法与过程 | 第21-33页 |
| ·介质陶瓷的制备方法 | 第21-24页 |
| ·粉料的制备 | 第21-22页 |
| ·压制成型 | 第22-23页 |
| ·陶瓷的致密化烧结 | 第23-24页 |
| ·介质薄膜的制备方法 | 第24-27页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第24-26页 |
| ·射频磁控溅射设备 | 第26-27页 |
| ·薄膜电极的制备方法 | 第27-29页 |
| ·蒸发 | 第27页 |
| ·真空电阻蒸发设备 | 第27-29页 |
| ·实验过程 | 第29-33页 |
| ·实验流程 | 第29页 |
| ·BNST薄膜电容的制备 | 第29-30页 |
| ·薄膜微结构分析 | 第30-31页 |
| ·薄膜电性能测试 | 第31-32页 |
| ·陶瓷与薄膜电容器的微波性能测试 | 第32-33页 |
| 第三章 BNST高介微波介质薄膜的制备 | 第33-46页 |
| ·BNST靶材的制备 | 第33-36页 |
| ·BNST靶材的制备工艺流程 | 第33-34页 |
| ·BNST介质谐振器及其靶材的制备 | 第34-36页 |
| ·BNST微波介质薄膜的制备工艺条件 | 第36-37页 |
| ·BNST介质薄膜的图形化 | 第37-45页 |
| ·图形化工艺流程 | 第37-38页 |
| ·BNST薄膜湿法刻蚀研究 | 第38-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 BNST薄膜的性能研究 | 第46-60页 |
| ·退火温度对BNST薄膜结构和性能的影响 | 第46-52页 |
| ·BNST高介微波介质薄膜的应用 | 第52-59页 |
| ·BNST介质薄膜电容器的低频特性 | 第52-56页 |
| ·BNST介质薄膜电容器的微波特性 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结论 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第67页 |
