锡膏测厚仪校准方法的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·课题背景、目的及意义 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-19页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 锡膏测厚仪校准方法的研究 | 第20-28页 |
| ·锡膏测厚仪的量值溯源体系 | 第20-21页 |
| ·影响锡膏测厚仪测量准确度的因素 | 第21页 |
| ·校准参数的制定 | 第21-23页 |
| ·校准方法的研究 | 第23-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 标准台阶块的制备和评定 | 第28-50页 |
| ·拓扑结构设计 | 第28-31页 |
| ·加工工艺研究 | 第31-34页 |
| ·平面度评定 | 第34-36页 |
| ·表面粗糙度评定 | 第36-37页 |
| ·台阶高度评定 | 第37-47页 |
| ·台阶高度测量的不确定度分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 基于标准台阶块对锡膏测厚仪的评定 | 第50-57页 |
| ·锡膏测厚仪重复性数据分析 | 第50-51页 |
| ·锡膏测厚仪稳定性数据分析 | 第51-52页 |
| ·锡膏测厚仪示值误差数据分析 | 第52-53页 |
| ·锡膏测厚仪示值误差测量结果的不确定度分析 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结和展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
