基于磁控溅射技术的典型零件复合加工方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·选题背景及意义 | 第7-8页 |
| ·选题背景 | 第7页 |
| ·选题的意义 | 第7-8页 |
| ·零件精密制造技术特点及研究现状 | 第8-11页 |
| ·零件精密制造技术特点 | 第8页 |
| ·精密零件制造技术应用前景 | 第8-9页 |
| ·零件精密制造技术研究现状 | 第9-11页 |
| ·论文主要研究内容 | 第11页 |
| ·论文结构安排 | 第11-13页 |
| 2 典型零件的复合加工方法 | 第13-23页 |
| ·典型零件复合加工方法的理论基础 | 第13-16页 |
| ·现代表面工程技术 | 第13页 |
| ·气相沉积技术 | 第13-16页 |
| ·典型零件复合加工方法的特点与创新 | 第16-17页 |
| ·典型零件复合加工方法的特点 | 第16页 |
| ·典型零件复合加工方法创新 | 第16-17页 |
| ·典型零件复合加工方法的工艺路线及关键技术 | 第17-22页 |
| ·工艺路线 | 第17页 |
| ·关键技术 | 第17-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 典型零件复合加工的计算机模拟 | 第23-45页 |
| ·概述 | 第23页 |
| ·计算机模拟方法及其涂覆技术中的应用意义 | 第23-30页 |
| ·常见的计算机模拟方法 | 第23页 |
| ·分子动力学(MD)方法 | 第23-28页 |
| ·蒙特卡罗(MC)方法 | 第28-29页 |
| ·计算机模拟的意义 | 第29-30页 |
| ·薄膜生成过程 | 第30-36页 |
| ·吸附与蒸发 | 第30页 |
| ·扩散 | 第30-31页 |
| ·成核长大 | 第31-32页 |
| ·涂覆系统 | 第32-33页 |
| ·溅射原子的产生 | 第33-34页 |
| ·溅射原子的沉积 | 第34-36页 |
| ·模拟及结果分析 | 第36-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 4 长方体零件的复合加工试验 | 第45-62页 |
| ·磁控溅射镀膜尝试性试验 | 第45-56页 |
| ·试验夹具设计 | 第46-48页 |
| ·真空溅射室转动装置设计 | 第48-49页 |
| ·试验过程 | 第49-50页 |
| ·试验结果及结果分析 | 第50-56页 |
| ·薄膜厚度的均匀性试验及分析 | 第56-58页 |
| ·试验方案 | 第56-57页 |
| ·试验结果及分析 | 第57-58页 |
| ·涂覆表面粗糙度试验及分析 | 第58-61页 |
| ·试验目的及过程 | 第59页 |
| ·试验结果及分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·论文主要工作 | 第62页 |
| ·论文不足之处 | 第62-63页 |
| ·今后工作展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 | 第68页 |
