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激光工艺对晶体硅太阳电池光电性能影响的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-21页
   ·研究背景第10-12页
   ·国内外发展趋势第12-15页
     ·光伏市场发展第12-13页
     ·晶体硅片技术进展第13-14页
     ·准单晶铸造法第14-15页
   ·电池技术进展第15-20页
     ·全背接触电池第15-17页
     ·HIT电池第17-18页
     ·Pluto电池第18-19页
     ·Cougar电池第19-20页
   ·研究内容第20-21页
第2章 晶体硅太阳电池及激光工艺简介第21-32页
   ·晶体硅太阳电池原理第21页
   ·晶体硅太阳电池制造流程第21-27页
     ·硅片检测第22页
     ·表面制绒第22-24页
     ·扩散制结第24-25页
     ·刻边第25页
     ·去PSG第25-26页
     ·SiNx沉积第26页
     ·电极制备第26-27页
     ·电极烧结第27页
     ·测试分选第27页
   ·激光技术在晶体硅太阳电池中的应用第27-32页
     ·激光刻槽第27-29页
     ·激光表面织构第29页
     ·激光选择性发射极电池第29-30页
     ·激光背面点接触第30-32页
第3章 多晶硅表面激光织构研究第32-42页
   ·引言第32-33页
   ·实验第33-35页
     ·原理及步骤第33-34页
     ·测试设备第34-35页
   ·结果与讨论第35-41页
     ·激光织构工艺优化第35-39页
     ·激光织构工艺与产业化工艺比较第39-41页
   ·本章小结第41-42页
第4章 激光自对准选择性发射极电池制作研究第42-53页
   ·引言第42-43页
   ·激光自对准SE电池制作第43-46页
   ·实验结果与表征第46-52页
     ·方块电阻第46-48页
     ·掺杂浓度及掺杂深度第48-49页
     ·I-V测试及J-V曲线第49-52页
   ·本章小结第52-53页
结论第53-55页
参考文献第55-60页
附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录第60-61页
附录B 攻读学位期间所发表的专利目录第61-62页
致谢第62页

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