H2-N2混合气体容性射频放电特性的PIC/MCC模拟
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究意义 | 第9页 |
| ·等离子体概述 | 第9-11页 |
| ·等离子体产生 | 第9-10页 |
| ·射频放电特征 | 第10-11页 |
| ·研究现状 | 第11-13页 |
| ·等离子体发展趋势 | 第12页 |
| ·我国等离子体发展水平 | 第12-13页 |
| ·等离子体发展所遇困境 | 第13页 |
| ·数值模拟进展及本文创新性 | 第13-14页 |
| ·本文内容介绍及结构安排 | 第14-16页 |
| 第2章 PIC/MCC模型介绍 | 第16-27页 |
| ·模拟流程图 | 第16页 |
| ·初始状态安装 | 第16-17页 |
| ·泊松方程 | 第17页 |
| ·粒子和场的权重 | 第17-18页 |
| ·推动粒子 | 第18页 |
| ·碰撞判断机制 | 第18-19页 |
| ·程序优化 | 第19页 |
| ·粒子数控制 | 第19-20页 |
| ·计算周期 | 第20页 |
| ·模型中所考虑的碰撞类型 | 第20-23页 |
| ·碰撞截面及碰撞分析 | 第23-27页 |
| 第3章 氢气射频放电模拟结果和分析 | 第27-36页 |
| ·空间电势与电场分布 | 第27-29页 |
| ·电子和离子空间密度分布图 | 第29-32页 |
| ·电子与离子空间平均能量分布 | 第32-34页 |
| ·模拟结果与实验比较 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 H_2-N_2混合气体射频放电模拟 | 第36-49页 |
| ·鞘层厚度变化 | 第36-37页 |
| ·电势与电场分布 | 第37-39页 |
| ·平均能量分布 | 第39-43页 |
| ·密度分布 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果清单 | 第56页 |
