| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·Sn_2S_3基本性质 | 第11页 |
| ·Sn_2S_3研究现状及制备方法 | 第11-14页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的研究现状 | 第11-13页 |
| ·Sn_2S_3薄膜制备方法简介 | 第13-14页 |
| ·本课题研究意义及内容 | 第14-16页 |
| 第二章 实验 | 第16-20页 |
| ·实验用品、设备及相关测试仪器 | 第16页 |
| ·实验 | 第16-20页 |
| ·相关理论及计算 | 第16-17页 |
| ·基片清洗 | 第17-18页 |
| ·薄膜的沉积 | 第18-19页 |
| ·薄膜的热处理工艺 | 第19-20页 |
| 第三章 Sn_2S_3薄膜的物相结构及组分表征 | 第20-36页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的物相结构表征 | 第20-27页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的XRD分析(玻璃基底) | 第20-22页 |
| ·Sn_2S_3：Zn(9wt%)薄膜的XRD分析(玻璃基底) | 第22-25页 |
| ·Sn_2S_3：Zn(9wt%)薄膜的XRD分析(单晶硅基底) | 第25-26页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的晶粒尺寸 | 第26-27页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的表面形貌 | 第27-31页 |
| ·原子力显微镜(AFM)对Sn_2S_3薄膜的表面形貌的表征 | 第28-31页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的扫描电子显微镜(SEM)图 | 第31页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的能谱分析(EDS) | 第31-36页 |
| ·Sn_2S_3薄膜能谱分析(玻璃) | 第32-33页 |
| ·Sn_2S_3：Zn(9wt%)薄膜能谱分析(玻璃) | 第33-35页 |
| ·Sn_2S_3：Zn(9wt%)薄膜能谱分析(单晶硅) | 第35-36页 |
| 第四章 Sn_2S_3薄膜的电、光特性 | 第36-42页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的电学特性 | 第36-38页 |
| ·半导体导电原理 | 第36页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的电学特性 | 第36-38页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的光学特性 | 第38-42页 |
| ·基本原理 | 第38-39页 |
| ·Sn_2S_3薄膜光学特性 | 第39-40页 |
| ·Sn_2S_3：Zn(9wt%)薄膜光学特性 | 第40-42页 |
| 第五章 存在问题及建议 | 第42-43页 |
| 第六章 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第49页 |
| 硕士期间参加的科研课题 | 第49页 |
