PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在MEMS中的应用研究
| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-37页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·微型能量采集器 | 第14-22页 |
| ·微能源研究现状 | 第14-15页 |
| ·能量采集器 | 第15-17页 |
| ·振动机械能能量采集器 | 第17-18页 |
| ·悬臂梁压电式振动能量采集器研究 | 第18-22页 |
| ·压电效应与压电材料 | 第22-29页 |
| ·压电效应 | 第22-23页 |
| ·压电材料的基本特性与结构 | 第23-24页 |
| ·铁电体的电畴结构和电滞回线 | 第24-27页 |
| ·压电陶瓷性能指标 | 第27页 |
| ·压电陶瓷的发展及应用 | 第27-29页 |
| ·PZT 压电材料 | 第29-33页 |
| ·PZT 的钙钛矿结构 | 第29-30页 |
| ·铁电体的结构相变与临界现象 | 第30页 |
| ·锆钛酸铅及其结构 | 第30-33页 |
| ·PZT 铁电薄膜的特性及应用 | 第33页 |
| ·PZT 铁电薄膜主要制备方法 | 第33-36页 |
| ·Sol-Gel 法 | 第34页 |
| ·MOCVD 法 | 第34页 |
| ·PLD 法 | 第34-35页 |
| ·溅射法 | 第35页 |
| ·PZT 厚膜制备方法 | 第35-36页 |
| ·本文研究意义及主要工作 | 第36-37页 |
| 第二章 PZT 铁电薄膜的Sol-Gel 制备法 | 第37-46页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·Sol-Gel 法制备PZT 铁电薄膜 | 第37-38页 |
| ·实验准备 | 第38-42页 |
| ·实验选用试剂 | 第38-39页 |
| ·仪器设备 | 第39-41页 |
| ·基片准备 | 第41-42页 |
| ·铁电薄膜制备 | 第42-44页 |
| ·前驱体配制 | 第42-43页 |
| ·胶体旋涂及热处理 | 第43-44页 |
| ·退火处理 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 PZT 铁电薄膜制备、结构与性能分析 | 第46-64页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·PZT 前驱体配制 | 第46-51页 |
| ·PZT 溶胶形成机理 | 第46-47页 |
| ·配胶参数对溶胶的影响 | 第47-51页 |
| ·配胶方案确定 | 第51页 |
| ·PZT 成膜工艺 | 第51-56页 |
| ·薄膜成膜机理 | 第51-53页 |
| ·成膜工艺改进 | 第53-56页 |
| ·最终成膜工艺方案确定 | 第56页 |
| ·PZT 铁电薄膜的结构与表征 | 第56-61页 |
| ·SEM 分析 | 第57-58页 |
| ·EDX 分析 | 第58页 |
| ·XRD 分析 | 第58-61页 |
| ·薄膜电学性能测试 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 PZT 压电悬臂梁制备与测试 | 第64-73页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·压电悬臂梁结构设计与分析 | 第64-66页 |
| ·PZT 压电悬臂梁制备 | 第66-68页 |
| ·PZT 压电悬臂梁性能测试 | 第68-70页 |
| ·PZT 压电悬臂梁在超声液体环境下应用探讨 | 第70-72页 |
| ·器件设计与制作 | 第70页 |
| ·器件工作与测试环境 | 第70-71页 |
| ·测试结果与分析 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 结论与展望 | 第73-75页 |
| ·研究结论 | 第73-74页 |
| ·研究展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第81页 |
