基于白光干涉的表面形貌接触和非接触两用测量系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·表面形貌测量系统及其研究的意义 | 第10-11页 |
| ·表面形貌的测量方法及国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·课题的来源、本文的主要工作及创新 | 第17-20页 |
| 2 白光干涉测量技术 | 第20-41页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·部分相干理论基础 | 第21-30页 |
| ·双光束白光干涉仪的干涉图形分析 | 第30-35页 |
| ·白光干涉图形中零级条纹的识别 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 接触式和非接触式测量系统的测量原理 | 第41-62页 |
| ·系统的总体构成与测量方法 | 第41-43页 |
| ·三维成像公式 | 第43-50页 |
| ·接触式测量原理 | 第50-56页 |
| ·非接触式测量原理 | 第56-60页 |
| ·接触与非接触两用表面形貌测量系统的特点 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 4 测量系统关键部件的设计与分析 | 第62-93页 |
| ·白光光源的设计及选择 | 第62-73页 |
| ·分光棱镜的误差分析 | 第73-77页 |
| ·杠杆机构的设计及性能分析 | 第77-88页 |
| ·控制系统的设计 | 第88-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 5 测量系统的特性与误差分析 | 第93-102页 |
| ·接触式测量系统的特性 | 第93-94页 |
| ·非接触式测量系统的特性 | 第94-95页 |
| ·测量系统的其它特性 | 第95-97页 |
| ·测量系统的误差分析 | 第97-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 6 测量系统的标定及实验结果 | 第102-110页 |
| ·工作台的标定 | 第102-103页 |
| ·杠杆机构的动态特性标定 | 第103-104页 |
| ·非接触式测量系统的标定 | 第104-106页 |
| ·接触式测量系统的标定 | 第106-107页 |
| ·大量程零件的实测结果 | 第107-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 7 总结与展望 | 第110-113页 |
| ·全文总结 | 第110-111页 |
| ·研究展望及今后工作的建议 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-121页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的第一作者学术论文 | 第121-122页 |
| 附录2 测量系统的实物照片 | 第122-123页 |
| 附录3 发明专利申请公开说明书 | 第123-124页 |
| 附录4 EI 收录文章的网上检索结果 | 第124页 |
