半导体制造企业中“瓶颈”设备的故障预测
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-16页 |
| ·背景及意义 | 第9-14页 |
| ·背景 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·意义 | 第13-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| ·论文总体框架 | 第15-16页 |
| 第二章 设备故障分析和预测的方法和理论 | 第16-26页 |
| ·“瓶颈”设备判定方法 | 第16-21页 |
| ·生产站点性能评判方法 | 第16-18页 |
| ·可变性理论确定“瓶颈”设备的方法 | 第18-21页 |
| ·设备故障分析和预测方法 | 第21-25页 |
| ·设备故障评估新指标的提出 | 第21页 |
| ·时间序列法 | 第21-24页 |
| ·归纳推断法 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 设备故障停机时间和故障类别的预测分析 | 第26-50页 |
| ·“瓶颈”设备的判定 | 第26-32页 |
| ·“瓶颈”站点的判定 | 第26-28页 |
| ·“瓶颈”设备的判定 | 第28-32页 |
| ·基于ARMA 模型的设备故障停机时间的预测 | 第32-45页 |
| ·数据平稳化处理 | 第32-36页 |
| ·ARMA 模型的构建 | 第36-39页 |
| ·ARMA 模型识别 | 第36-38页 |
| ·ARMA 模型参数估计 | 第38-39页 |
| ·检验与预测 | 第39-45页 |
| ·模型检验 | 第39-41页 |
| ·预测 | 第41-45页 |
| ·设备故障类别的分析 | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 预测方法在半导体工厂中的有效性检验 | 第50-59页 |
| ·实验设计 | 第50-53页 |
| ·实验一 | 第50-51页 |
| ·实验二 | 第51-53页 |
| ·预测工具简介 | 第53-55页 |
| ·验证结果 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·总结 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第65-66页 |
