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LBO晶体表面高激光损伤阈值增透膜的研制

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 引言第9-30页
   ·LBO 晶体表面增透膜研究的背景与意义第9-12页
   ·LBO 晶体的基本性质第12-13页
   ·LBO 晶体表面镀膜存在的问题和研究现状第13-16页
   ·光学薄膜的激光损伤第16-23页
     ·激光方面的因素第16-19页
     ·薄膜制备工艺对激光损伤的影响第19-22页
     ·光学薄膜的激光损伤机理第22-23页
   ·本文的研究内容第23-25页
 参考文献第25-30页
第二章 薄膜的相关测试与制备技术第30-40页
   ·X 射线衍射分析技术第30-31页
   ·表面形貌观测技术第31页
   ·本文所采用的激光损伤阈值测试方式和装置第31-33页
   ·薄膜光学性质的测量与计算第33-35页
   ·本文中所采用的薄膜制备技术第35-38页
   ·本章小结第38-39页
 参考文献第39-40页
第三章 LBO晶体上倍频增透膜的设计第40-55页
   ·矢量法设计倍频增透膜第40-41页
   ·二倍频增透膜的设计第41-47页
     ·膜系设计第41-43页
     ·误差分析第43-47页
   ·三倍频增透膜的设计第47-53页
     ·膜系设计第47-49页
     ·误差分析第49-53页
   ·本章小结第53-54页
 参考文献第54-55页
第四章 单层膜HfO_2制备工艺实验研究第55-68页
   ·考夫曼离子源辅助沉积HfO_2 薄膜第55-62页
     ·样品制备第55-56页
     ·实验结果与讨论第56-62页
   ·霍尔源辅助沉积HfO_2 薄膜第62-66页
     ·样品制备第62页
     ·实验结果与讨论第62-66页
   ·本章小结第66-67页
 参考文献第67-68页
第五章 影响LBO晶体表面倍频增透膜激光损伤阈值的因素分析第68-77页
   ·制备技术第68-69页
     ·样品制备第68页
     ·实验结果与讨论第68-69页
   ·基底和膜层表面的缺陷和污染第69-73页
     ·样品制备第69-70页
     ·实验结果与讨论第70-73页
   ·基底的清洗工艺第73-75页
     ·样品制备第73页
     ·实验结果与讨论第73-75页
   ·本章小结第75-76页
 参考文献第76-77页
第六章 LBO晶体表面高激光损伤阈值增透膜的制备第77-95页
   ·高性能946nm,473nm 倍频增透膜的制第77-85页
     ·样品制备第77-78页
     ·实验结果与讨论第78-85页
     ·实际使用情况第85页
   ·内保护层对激光损伤阈值的提高第85-92页
     ·膜系设计第86页
     ·样品制备第86页
     ·实验结果与讨论第86-91页
     ·实际使用情况第91-92页
   ·本章小结第92-93页
 参考文献第93-95页
第七章 全文总结第95-97页
   ·本文的主要研究成果第95-96页
   ·本文的创新点第96页
   ·展望第96-97页
 博士学位期间发表论文目录第97-98页
致谢第98页

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