| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·问题的提出及研究意义 | 第8-9页 |
| ·问题的提出 | 第8-9页 |
| ·研究的意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·本文研究的目的和研究内容 | 第13-15页 |
| ·本文研究的目的 | 第13-14页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 2 原子力显微术基础理论和方法 | 第15-29页 |
| ·AFM 成像的基本原理 | 第15-16页 |
| ·AFM 的成像模式 | 第16-19页 |
| ·接触模式(Contact Mode) | 第16-17页 |
| ·非接触模式(Non-Contact Mode) | 第17页 |
| ·轻敲模式(Tapping Mode ) | 第17-19页 |
| ·微悬臂形变检测 | 第19-21页 |
| ·隧道电流检测法 | 第19-20页 |
| ·光束偏转法 | 第20-21页 |
| ·AFM.IPC-208B 型原子力显微镜的系统结构 | 第21-22页 |
| ·影响 AFM.IPC-208B 成像的各因素 | 第22-28页 |
| ·AFM 针尖结构对图像的影响 | 第23-24页 |
| ·工作环境的影响 | 第24-25页 |
| ·系统参数设置的影响 | 第25-28页 |
| ·压电陶瓷对成像的影响 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 时间序列的分析方法 | 第29-44页 |
| ·时间序列的分析方法 | 第29-39页 |
| ·自相关函数 | 第29-32页 |
| ·功率谱密度 | 第32-34页 |
| ·相空间重构 | 第34-36页 |
| ·小波基本理论 | 第36-39页 |
| ·AFM.IPC-208B 图像数据采集格式 | 第39-44页 |
| ·采集格式 | 第39-41页 |
| ·位图格式 | 第41-43页 |
| ·文件格式的选择与处理 | 第43-44页 |
| 4 AFM.IPC-208B 图像数据分析 | 第44-61页 |
| ·数据采集与参数选择 | 第44-51页 |
| ·实验一 | 第45-48页 |
| ·实验二 | 第48-51页 |
| ·数据的自相关分析 | 第51-53页 |
| ·数据的功率谱密度估计 | 第53-56页 |
| ·阻尼谐振子模型 | 第56-60页 |
| ·阻尼谐振子模型的建立 | 第57页 |
| ·拟合结果及讨论 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 AFM.IPC-208B 图像的后处理修正 | 第61-71页 |
| ·压电陶瓷对AFM 图像质量影响因素分析 | 第61-66页 |
| ·AFM 压电陶瓷运动模型 | 第62-63页 |
| ·扫描范围误差与交叉耦合误差 | 第63-64页 |
| ·实验结果及讨论 | 第64-66页 |
| ·AFM 图像的小波去噪 | 第66-70页 |
| ·小波空域去噪算法 | 第66-68页 |
| ·实验结果及讨论 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 6 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·全文总结 | 第71-72页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录 | 第78页 |