光刻机主基板的模态分析和优化设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 前言 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·课题来源 | 第10页 |
| ·模态分析及动力优化技术概述 | 第10-14页 |
| ·模态分析概述 | 第10-11页 |
| ·动力优化设计技术的发展 | 第11-14页 |
| ·本课题主要内容及技术关键 | 第14-16页 |
| ·课题主要内容 | 第14页 |
| ·技术关键 | 第14-16页 |
| ·论文章节安排 | 第16-17页 |
| 2 光刻机主基板参数化几何模型和有限元模型的建立 | 第17-28页 |
| ·光刻机机械系统布局及关键子系统介绍 | 第17-22页 |
| ·光刻机机械系统布局 | 第17-18页 |
| ·光刻机关键子系统介绍 | 第18-22页 |
| ·投影物镜系统 | 第18-19页 |
| ·工件台和掩模台系统 | 第19-20页 |
| ·主动减振系统 | 第20-21页 |
| ·主基板 | 第21-22页 |
| ·参数化几何建模和有限元建模软件 | 第22-23页 |
| ·主基板参数化几何模型的建立 | 第23-25页 |
| ·主基板有限元模型的建立 | 第25-27页 |
| ·适用于主基板的有限元建模方法探讨 | 第25页 |
| ·材料力学参数的确定 | 第25-26页 |
| ·有限元单元的确定 | 第26页 |
| ·主基板的有限元模型 | 第26-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 3 光刻机主基板的模态分析 | 第28-41页 |
| ·主基板的理论模态分析 | 第28-32页 |
| ·模态分析的理论依据 | 第28-29页 |
| ·求解方法的选择 | 第29页 |
| ·边界条件的确定 | 第29-30页 |
| ·主基板的理论模态分析 | 第30-32页 |
| ·主基板的试验模态分析 | 第32-39页 |
| ·试验测试方法和测试设备 | 第32-35页 |
| ·试验测试方法 | 第32-33页 |
| ·测试设备 | 第33-35页 |
| ·模态测试 | 第35-36页 |
| ·数据分析与参数提取 | 第36-39页 |
| ·理论与试验模态结果分析及对比 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 4 主基板动力优化设计 | 第41-53页 |
| ·主基板的灵敏度分析 | 第41-44页 |
| ·灵敏度分析的原理 | 第41-42页 |
| ·主基板的灵敏度分析 | 第42-44页 |
| ·主基板的动力优化数学模型的建立 | 第44-48页 |
| ·主基板优化设计变量 | 第44-45页 |
| ·主基板优化设计目标函数 | 第45-46页 |
| ·主基板优化设计约束条件 | 第46-47页 |
| ·主基板动力优化设计数学模型 | 第47-48页 |
| ·主基板优化数学模型的求解及结果分析 | 第48-52页 |
| ·主基板动力优化设计数学模型的求解 | 第48-50页 |
| ·主基板优化结果分析 | 第50-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| ·工作总结 | 第53-54页 |
| ·工作展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第60页 |
