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高性能微光器件Al2O3薄膜及其特性研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-5页
目录第5-6页
第一章 绪论第6-13页
 §1.1 夜视技术的发展及应用第6-8页
 §1.2 微通道板相关知识及其技术的发展第8-11页
 §1.3 离子反馈及微通道板防离子反馈膜新技术研究第11-12页
 §1.4 本论文的主要工作第12-13页
第二章 Al_2O_3防离子反馈膜粒子透过原理及其理论分析第13-24页
 §2.1 膜层电子透过和离子阻挡的基本原理第13-17页
 §2.2 膜层电子透过特性第17-20页
 §2.3 膜层离子透过特性第20-24页
第三章 Al_2O_3防离子反馈膜制备技术研究第24-34页
 §3.1 膜层制备的传统工艺第24-26页
 §3.2 膜层制备的免污新工艺第26-29页
 §3.3 膜层及MCP通道成份分析第29-34页
第四章 Al_2O_3防离子反馈膜电子透过特性研究第34-40页
 §4.1 膜层电子透过特性测试原理第34-35页
 §4.2 膜层电子透过特性测试结果分析第35-37页
 §4.3 带膜MCP的特性及测量第37-38页
 §4.4 真空烘烤对带膜微通道板性能的影响第38-40页
第五章 Al_2O_3防离子反馈膜离子透过特性研究第40-48页
 §5.1 测试方案设计第40-42页
 §5.2 需要解决的问题第42-43页
 §5.3 微通道板使用寿命的测量第43-48页
结论第48-49页
致谢第49-50页
参考文献第50-53页
长春理工大学硕士学位论文原创性声明第53页
长春理工大学学位论文版权使用授权书第53页

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