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近柱面干涉检测研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 引言第8-16页
   ·Woltet-I 型X 射线望远镜与近柱面第8-12页
     ·Wolter-I 型X 射线望远镜第8-11页
     ·近柱面的定义第11-12页
   ·近柱面检测方法第12-15页
   ·课题的提出和本文主要工作第15-16页
第二章 检测装置模拟与优化第16-36页
   ·菲索干涉仪检测近柱面的装置和原理第16-18页
   ·干涉检测装置的模拟第18-22页
     ·采用多重结构技术构造检测装置第19-20页
     ·Fizeau 干涉仪的模拟第20-21页
     ·被检区外形和面积的设定第21-22页
   ·近柱面干涉图的特性第22-27页
     ·柱面和典型近柱面的干涉图比较第22-24页
     ·不同近柱面面形的干涉图第24-27页
   ·检测装置优化设计第27-34页
     ·调整离焦量优化检测装置第29-30页
     ·调整倾斜角优化检测装置第30-33页
     ·优化的局限性与近柱面可检性分析第33-34页
   ·近柱面检测中的误差来源第34-36页
第三章 曲面拟合法处理波像差数据的精度问题研究第36-53页
   ·曲面拟合法处理波像差数据简介第36-38页
   ·曲面拟合法处理波像差的模拟第38-45页
     ·模拟的主要步骤第38-42页
     ·Matlab 仿真分析软件第42-45页
   ·曲面拟合法处理波像差的精度特性第45-49页
     ·拟合阶数n 对精度的影响第45-47页
     ·不同W_1 和W_2 下曲面拟合法的精度第47-49页
   ·最佳拟合阶n_0 的确定第49-53页
     ·方法一第49-50页
     ·方法二第50-53页
第四章 总结和展望第53-55页
参考文献第55-58页
致谢第58-59页
谢本超个人简历第59-60页
谢本超在攻读硕士学位期间发表的论文目录第60-61页
硕士学位论文原创性声明第61页

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