近柱面干涉检测研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-16页 |
| ·Woltet-I 型X 射线望远镜与近柱面 | 第8-12页 |
| ·Wolter-I 型X 射线望远镜 | 第8-11页 |
| ·近柱面的定义 | 第11-12页 |
| ·近柱面检测方法 | 第12-15页 |
| ·课题的提出和本文主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 检测装置模拟与优化 | 第16-36页 |
| ·菲索干涉仪检测近柱面的装置和原理 | 第16-18页 |
| ·干涉检测装置的模拟 | 第18-22页 |
| ·采用多重结构技术构造检测装置 | 第19-20页 |
| ·Fizeau 干涉仪的模拟 | 第20-21页 |
| ·被检区外形和面积的设定 | 第21-22页 |
| ·近柱面干涉图的特性 | 第22-27页 |
| ·柱面和典型近柱面的干涉图比较 | 第22-24页 |
| ·不同近柱面面形的干涉图 | 第24-27页 |
| ·检测装置优化设计 | 第27-34页 |
| ·调整离焦量优化检测装置 | 第29-30页 |
| ·调整倾斜角优化检测装置 | 第30-33页 |
| ·优化的局限性与近柱面可检性分析 | 第33-34页 |
| ·近柱面检测中的误差来源 | 第34-36页 |
| 第三章 曲面拟合法处理波像差数据的精度问题研究 | 第36-53页 |
| ·曲面拟合法处理波像差数据简介 | 第36-38页 |
| ·曲面拟合法处理波像差的模拟 | 第38-45页 |
| ·模拟的主要步骤 | 第38-42页 |
| ·Matlab 仿真分析软件 | 第42-45页 |
| ·曲面拟合法处理波像差的精度特性 | 第45-49页 |
| ·拟合阶数n 对精度的影响 | 第45-47页 |
| ·不同W_1 和W_2 下曲面拟合法的精度 | 第47-49页 |
| ·最佳拟合阶n_0 的确定 | 第49-53页 |
| ·方法一 | 第49-50页 |
| ·方法二 | 第50-53页 |
| 第四章 总结和展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 谢本超个人简历 | 第59-60页 |
| 谢本超在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第60-61页 |
| 硕士学位论文原创性声明 | 第61页 |