| 第一章 电子束曝光技术概述 | 第1-15页 |
| ·背景 | 第9页 |
| ·电子束曝光技术概述 | 第9-11页 |
| ·课题背景 | 第11-13页 |
| ·课题意义 | 第13-15页 |
| 第二章 电子散射基本原理 | 第15-25页 |
| ·电子与样品相互作用机理 | 第15页 |
| ·电子与样品相互作用分类 | 第15-17页 |
| ·电子散射的散射截面 | 第17-21页 |
| ·弹性散射物理模型 | 第19-21页 |
| ·非弹性散射物理模型 | 第21页 |
| ·电子在固体中的穿透和扩散 | 第21-25页 |
| ·电子的失能规律 | 第21-24页 |
| ·电子在固体中的射程 | 第24-25页 |
| 第三章 用MONTE CARLO方法实现电子散射过程的计算机模拟 | 第25-49页 |
| ·MONTE CARLO方法介绍 | 第25-28页 |
| ·随机数和随机变量的产生 | 第26-28页 |
| ·电子散射模拟过程 | 第28-32页 |
| ·电子坐标初值 | 第28-29页 |
| ·样品只含一种原子的情况下的参数计算 | 第29-31页 |
| ·样品含多种原子的情况下参数计算 | 第31-32页 |
| ·坐标转换 | 第32-40页 |
| ·静态坐标系 | 第32-33页 |
| ·动态坐标系 | 第33-37页 |
| ·坐标转换的计算机实现 | 第37-40页 |
| ·电子散射的模拟过程 | 第40-41页 |
| ·对应抗蚀剂的数据处理 | 第41-43页 |
| ·画图 | 第43-49页 |
| ·画电子散射图 | 第43-44页 |
| ·Matlab6.5画图流程 | 第44页 |
| ·Matlab6.5画能量沉积图 | 第44-46页 |
| ·Matlab6.5画抗蚀剂显影轮廓图 | 第46-49页 |
| 第四章 计算机模拟与实验 | 第49-64页 |
| ·计算机模拟 | 第49-62页 |
| ·完整程序的计算流程 | 第49-52页 |
| ·计算机模拟结果 | 第52-62页 |
| ·实验结果 | 第62-63页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·讨论 | 第63-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-65页 |
| ·本课题已经完成的工作 | 第64页 |
| ·下一步研究方向 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 发表论文目录 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |