| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-18页 |
| 第一章 概述 | 第18-37页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·ZnO薄膜的基本特性 | 第19-23页 |
| ·ZnO薄膜结构特性 | 第19-21页 |
| ·ZnO薄膜导电机理及光电特性 | 第21-22页 |
| ·薄膜的气敏特性 | 第22页 |
| ·薄膜的压敏特性 | 第22页 |
| ·薄膜的压电特性 | 第22-23页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的应用 | 第23-26页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的研究现状 | 第26-30页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的国内研究现状 | 第27-29页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的国外研究现状 | 第29-30页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的制备技术 | 第30-35页 |
| ·磁控溅射法 | 第30-32页 |
| ·喷雾热分解 | 第32页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法 | 第32-33页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第33-34页 |
| ·激光分子束外延 | 第34页 |
| ·溶胶一凝胶法 | 第34-35页 |
| ·其它方法 | 第35页 |
| ·课题研究的目的和意义和主要内容 | 第35-37页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第35-36页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第36-37页 |
| 第二章 溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜原理 | 第37-45页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜技术概述 | 第37-39页 |
| ·溶胶凝胶法制备薄膜技术的发展过程 | 第37-38页 |
| ·溶胶凝胶技术的特点 | 第38-39页 |
| ·溶胶凝胶法制备薄膜的工艺过程 | 第39-42页 |
| ·溶胶的制备 | 第39页 |
| ·凝胶制备及原理 | 第39-41页 |
| ·锻烧和烧结 | 第41-42页 |
| ·溶胶一凝胶法制备薄膜的方法 | 第42-43页 |
| ·提拉法 | 第42页 |
| ·旋转涂覆法 | 第42-43页 |
| ·喷涂法 | 第43页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的影响因素 | 第43-45页 |
| ·水解度 | 第43-44页 |
| ·催化剂 | 第44页 |
| ·溶胶浓度 | 第44页 |
| ·成胶温度 | 第44-45页 |
| 第三章 ZnO薄膜的表征技术 | 第45-53页 |
| ·ZnO薄膜的结构分析-X射线衍射(XRD) | 第45-47页 |
| ·晶向的标定 | 第46页 |
| ·估算晶粒尺寸 | 第46-47页 |
| ·计算晶格常数 | 第47页 |
| ·分析薄膜内部应力 | 第47页 |
| ·ZnO薄膜的表面形貌分析-SEM | 第47-49页 |
| ·ZnO薄膜的电学性能的分析-四探针 | 第49-51页 |
| ·ZnO薄膜的光学性能的分析-分光光度仪 | 第51-53页 |
| 第四章 掺杂ZAO透明导电薄膜的制备 | 第53-61页 |
| ·实验方案 | 第53-55页 |
| ·制备ZAO薄膜实验设计及结果 | 第53-55页 |
| ·制备ZAO:La和ZAO:Sn薄膜实验设计 | 第55页 |
| ·试剂及仪器设备 | 第55-57页 |
| ·试剂 | 第55页 |
| ·仪器设备 | 第55-57页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第57-61页 |
| ·薄膜的制备工艺流程 | 第57页 |
| ·制备溶胶 | 第57-58页 |
| ·基片的选择 | 第58页 |
| ·基片的清洗 | 第58页 |
| ·提拉法涂膜 | 第58-59页 |
| ·薄膜的干燥 | 第59页 |
| ·薄膜的预处理 | 第59页 |
| ·薄膜在还原气氛下的退火处理 | 第59-61页 |
| 第五章 ZAO薄膜的实验结果及分析 | 第61-77页 |
| ·Al~(3+)掺杂量对ZAO薄膜性能的影响 | 第61-67页 |
| ·Al~(3+)掺杂量对ZAO薄膜的结构性能的影响 | 第61-63页 |
| ·Al~(3+)掺杂量对ZAO薄膜微观形貌的影响 | 第63-64页 |
| ·Al~(3+)掺杂量对ZAO薄膜电阻率的影响 | 第64-65页 |
| ·Al~(3+)掺杂量对ZAO薄膜透光率的影响 | 第65-67页 |
| ·退火温度对ZAO薄膜性能的影响 | 第67-72页 |
| ·退火温度对ZAO薄膜的结构性能的影响 | 第67-68页 |
| ·退火温度对ZAO薄膜的微观形貌的影响 | 第68-70页 |
| ·退火温度对ZAO薄膜电学性能的影响 | 第70-71页 |
| ·退火温度对ZAO薄膜光学性能的影响 | 第71-72页 |
| ·还原气氛退火对ZAO薄膜电阻率的影响 | 第72页 |
| ·溶胶浓度对ZAO薄膜性能的影响 | 第72-75页 |
| ·溶胶浓度对ZAO薄膜微观形貌的影响 | 第73-74页 |
| ·溶胶浓度对ZAO薄膜电阻率的影响 | 第74-75页 |
| ·涂膜层数对ZAO薄膜性能的影响 | 第75-77页 |
| ·涂膜层数对ZAO薄膜电阻率的影响 | 第75页 |
| ·涂膜层数对ZAO薄膜透光率的影响 | 第75-77页 |
| 第六章 ZAO:La和ZAO:Sn薄膜的研究 | 第77-82页 |
| ·ZAO:La薄膜的实验结果及分析 | 第77-79页 |
| ·ZAO:La薄膜结构特性 | 第77-78页 |
| ·ZAO:La薄膜电阻率 | 第78-79页 |
| ·ZAO:La薄膜透光率 | 第79页 |
| ·ZAO:Sn薄膜的性能 | 第79-82页 |
| ·ZAO:Sn薄膜结构特性 | 第79-80页 |
| ·ZAO:Sn薄膜电阻率 | 第80-81页 |
| ·ZAO:Sn薄膜透光率 | 第81-82页 |
| 第七章 结论 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第88页 |