| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·Ti(C,N)镀层的性能 | 第8-9页 |
| ·Ti(C,N)镀层的制备技术 | 第9-12页 |
| ·化学气相沉积 | 第9-10页 |
| ·物理气相沉积 | 第10-12页 |
| ·Ti(C,N)镀层的应用 | 第12页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第12-14页 |
| ·研究目的 | 第12-13页 |
| ·研究意义 | 第13-14页 |
| 2 实验方法与内容 | 第14-20页 |
| ·Ti(C,N)镀层的设计 | 第14-15页 |
| ·Ti(C,N)镀层的制备 | 第15-16页 |
| ·镀膜设备 | 第15页 |
| ·工艺参数 | 第15-16页 |
| ·镀层组织结构和性能检测 | 第16-20页 |
| ·Ti(C,N)镀层组织结构检测与观察 | 第16-17页 |
| ·Ti(C,N)镀层性能检测 | 第17-20页 |
| 3 Ti(C,N)镀层的组织结构与性能 | 第20-38页 |
| ·Ti(C,N)镀层的组织结构 | 第20-28页 |
| ·TiN、TiC及Ti(C,N)镀层的相组成及晶体结构 | 第20-21页 |
| ·TiN、TiC及Ti(C,N)镀层的横截面形貌 | 第21页 |
| ·TiN、TiC及Ti(C,N)镀层的微观组织 | 第21-26页 |
| ·Ti(C,N)镀层的成分和化学态 | 第26-28页 |
| ·Ti(C,N)镀层的力学及摩擦磨损性能 | 第28-34页 |
| ·表面粗糙度和厚度 | 第28-29页 |
| ·硬度 | 第29-30页 |
| ·结合强度 | 第30-31页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第31-34页 |
| ·分析和讨论 | 第34-38页 |
| ·硬化机制讨论 | 第34-35页 |
| ·摩擦磨损机制讨论 | 第35-38页 |
| 4 Ti(C,N)/GLC复合镀层的组织结构与性能 | 第38-47页 |
| ·Ti(C,N)/GLC复合镀层的组织结构 | 第38-41页 |
| ·T(C,N)/GLC复合镀层的相组成及晶体结构 | 第38-39页 |
| ·Ti(C,N)/GLC复合镀层的横截面形貌 | 第39页 |
| ·Ti(C,N)/GLC复合镀层的微观组织 | 第39-41页 |
| ·Ti(C,N)/GLC复合镀层的性能 | 第41-45页 |
| ·表面粗糙度和厚度 | 第41页 |
| ·硬度和结合强度 | 第41-43页 |
| ·摩擦磨损性能 | 第43-45页 |
| ·分析和讨论 | 第45-47页 |
| 5 结论 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和专利 | 第52页 |