| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-27页 |
| ·外电场作用下典型精微机械中的界面粘附问题 | 第11-15页 |
| ·外电场作用下典型精微机械的固-固界面粘附问题 | 第12-13页 |
| ·外电场作用下典型精微机械的固-液界面粘附问题 | 第13-15页 |
| ·外电场作用下的固-固界面粘附特性研究现状 | 第15-21页 |
| ·利用MEMS 器件的研究现状 | 第15-20页 |
| ·利用微观粘着测试仪的研究现状 | 第20-21页 |
| ·外电场作用下固-液界面近壁面层粘弹性的研究现状 | 第21-25页 |
| ·利用表面力仪（SFA）的研究现状 | 第21-22页 |
| ·利用石英晶体微天平（QCM）的研究现状 | 第22-24页 |
| ·利用摩擦实验机的研究现状 | 第24-25页 |
| ·课题意义与研究内容 | 第25-27页 |
| ·课题意义 | 第25页 |
| ·研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 微观粘着测试仪的研制及QCM 测试原理 | 第27-46页 |
| ·本章引论 | 第27页 |
| ·微观粘着测试仪的研制 | 第27-40页 |
| ·总体结构设计 | 第27-28页 |
| ·粘着力的测量—微观粘着测试仪的工作原理 | 第28-30页 |
| ·测量传感部分 | 第30-31页 |
| ·数据采集部分 | 第31-33页 |
| ·运动控制部分 | 第33页 |
| ·测量及控制单元的标定 | 第33-37页 |
| ·微观粘着测试仪的误差分析 | 第37-40页 |
| ·石英晶体微天平（QCM）测试原理 | 第40-45页 |
| ·QCM 工作原理 | 第40-43页 |
| ·KSV QCM-Z500 工作界面及性能参数 | 第43-44页 |
| ·KSV QCM-Z500 的误差分析 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 外电场作用下固-固界面粘附特性的研究 | 第46-70页 |
| ·本章引论 | 第46页 |
| ·外电场作用下固-固界面粘附的理论基础 | 第46-49页 |
| ·试验样品的制备与表征 | 第49-51页 |
| ·试验样品的制备 | 第49-50页 |
| ·试验样品的表征 | 第50-51页 |
| ·外电场作用下固-固界面粘附特性的实验及机理研究 | 第51-69页 |
| ·表面形貌对外电场作用下固-固界面粘附特性的影响 | 第51-57页 |
| ·接触充电时间对外电场作用下固-固界面粘附特性的影响 | 第57-60页 |
| ·外电场强度对外电场作用下固-固界面粘附特性的影响 | 第60-67页 |
| ·材料特性对外电场作用下固-固界面粘附特性的影响 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 外电场作用下精微机械的固-固界面防粘附设计研究 | 第70-98页 |
| ·本章引论 | 第70页 |
| ·外电场作用下RF MEMS 开关界面粘附问题研究与设计 | 第70-88页 |
| ·外电场作用下固-固界面粘附基础理论与开关 C-V 曲线仿真 | 第70-77页 |
| ·表面形貌与开关C-V 曲线仿真 | 第77-81页 |
| ·扩散充电模型与开关寿命预测 | 第81-85页 |
| ·固-固界面粘附机理与开关性能改进 | 第85-88页 |
| ·采用液体介质层改变外电场作用下固-固界面粘附特性 | 第88-97页 |
| ·液体介质引入对界面粘附特性的影响 | 第89-91页 |
| ·甘油对外电场作用下界面粘附特性的影响 | 第91-95页 |
| ·正十六烷对外电场作用下界面粘附特性的影响与控制 | 第95-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 第5章 外电场作用下近固-液界面层液体性质及精微机械的固-液界面防粘附设计研究 | 第98-132页 |
| ·本章引论 | 第98-99页 |
| ·含近壁面液体层的QCM 理论模型 | 第99-105页 |
| ·KANASAWA 模型及其双层膜响应模型的推导 | 第99-103页 |
| ·MCHALE 多层膜模型及其与KANASAWA 模型的比较 | 第103-105页 |
| ·外电场作用下液晶的界面特性实验及机理探讨 | 第105-125页 |
| ·5CB 液晶在电场作用下的体相性质 | 第105-108页 |
| ·向列相温度下5CB 液晶在电场作用下的界面特性 | 第108-119页 |
| ·外电场对界面处近壁面层5CB 液晶相变温度的影响 | 第119-125页 |
| ·利用外电场作用下5CB 液晶近壁面层性质进行精微机械的启动防粘附设计 | 第125-130页 |
| ·外电场作用下的5CB 液晶界面低速下摩擦力控制 | 第126-128页 |
| ·温度与电场耦合作用下的5CB 液晶界面的摩擦力控制 | 第128-130页 |
| ·本章小结 | 第130-132页 |
| 第6章 结论与展望 | 第132-135页 |
| ·结论 | 第132-133页 |
| ·创新点 | 第133-134页 |
| ·展望 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第146页 |
