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原子层沉积技术制备氧化物基薄膜的腐蚀性能研究

摘要第4-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第15-32页
    1.1 研究背景第15-17页
    1.2 防腐技术的发展现状第17-25页
        1.2.1 制备耐蚀金属材料第18-19页
        1.2.2 金属表面涂层第19-20页
        1.2.3 缓蚀剂第20-21页
        1.2.4 阴极保护第21-25页
    1.3 TiO_2基薄膜腐蚀性能研究进展第25-28页
        1.3.1 TiO_2薄膜的制备方法第25-26页
        1.3.2 TiO_2薄膜的掺杂改性第26-28页
        1.3.3 TiO_2薄膜的复合改性第28页
    1.4 Al_2O_3基薄膜腐蚀性能研究进展第28-30页
        1.4.1 Al_2O_3薄膜的制备方法第28页
        1.4.2 Al_2O_3薄膜的复合改性第28-30页
    1.5 本文的研究目的和主要内容第30-32页
        1.5.1 本文的研究目的第30页
        1.5.2 本文的主要内容第30-32页
第二章 试验方法第32-41页
    2.1 试验方案第32页
    2.2 试验材料第32-33页
        2.2.1 基材预处理第32-33页
        2.2.2 对摩材料与腐蚀溶液的配制第33页
    2.3 薄膜的制备第33-36页
        2.3.1 原子层沉积设备第33-35页
        2.3.2 磁控溅射设备第35页
        2.3.3 TiO_2与C-TiO_2薄膜的制备第35-36页
        2.3.4 Al_2O_3薄膜的制备第36页
        2.3.5 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的制备第36页
    2.4 薄膜的物性分析第36-37页
        2.4.1 薄膜的物相分析第36-37页
        2.4.2 薄膜的成分分析第37页
        2.4.3 薄膜的形貌分析第37页
    2.5 薄膜的力学性能分析第37-38页
        2.5.1 薄膜与基材的结合力分析第37页
        2.5.2 薄膜的表面粗糙度分析第37页
        2.5.3 薄膜的硬度及弹性模量分析第37-38页
    2.6 薄膜的腐蚀性能分析第38-39页
    2.7 薄膜的摩擦性能分析第39-40页
    2.8 本章小结第40-41页
第三章 热处理对TiO_2与C-TiO_2薄膜的结构与腐蚀性能影响第41-53页
    3.1 引言第41页
    3.2 TiO_2与C-TiO_2薄膜的制备方案第41-42页
    3.3 TiO_2与C-TiO_2薄膜的物性分析第42-46页
        3.3.1 TiO_2与C-TiO_2薄膜的物相分析第42-43页
        3.3.2 C-TiO_2薄膜的组成成分分析第43-44页
        3.3.3 TiO_2与C-TiO_2薄膜的形貌分析第44-46页
    3.4 TiO_2与C-TiO_2薄膜的力学性能分析第46-48页
    3.5 TiO_2与C-TiO_2薄膜的腐蚀性能分析第48-51页
        3.5.1 TiO_2薄膜的腐蚀性能研究第49-50页
        3.5.2 C-TiO_2薄膜的腐蚀性能研究第50-51页
    3.6 本章小结第51-53页
第四章 Al_2O_3与TiO_2薄膜在3.5wt.%NaCl溶液中的长期腐蚀行为第53-67页
    4.1 引言第53页
    4.2 Al_2O_3与TiO_2薄膜的制备方案第53页
    4.3 Al_2O_3与TiO_2薄膜的物性分析第53-55页
        4.3.1 Al_2O_3与TiO_2薄膜的成分分析第53-54页
        4.3.2 Al_2O_3与TiO_2薄膜的形貌分析第54-55页
    4.4 Al_2O_3与TiO_2薄膜的腐蚀性能分析第55-65页
        4.4.1 Al_2O_3与TiO_2薄膜对316L的防腐性能研究第55-57页
        4.4.2 Al_2O_3薄膜的长期腐蚀行为研究第57-61页
        4.4.3 TiO_2薄膜的长期腐蚀行为研究第61-65页
    4.5 本章小结第65-67页
第五章 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜在3.5wt.%NaCl溶液中的腐蚀与摩擦特性研究第67-85页
    5.1 引言第67页
    5.2 薄膜的制备方案第67-68页
    5.3 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的物性分析第68-71页
        5.3.1 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的物相分析第68-69页
        5.3.2 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的成分分析第69-70页
        5.3.3 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的形貌分析第70-71页
    5.4 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的力学性能分析第71-74页
        5.4.1 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜与基材的结合力分析第71-73页
        5.4.2 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的表面粗糙度分析第73页
        5.4.3 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的硬度及弹性模量分析第73-74页
    5.5 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的腐蚀性能分析第74-77页
        5.5.1 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的极化曲线分析第74-76页
        5.5.2 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的腐蚀前后形貌分析第76-77页
        5.5.3 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的腐蚀机理分析第77页
    5.6 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的摩擦性能分析第77-84页
        5.6.1 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的摩擦系数曲线第77-78页
        5.6.2 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜的平均稳态摩擦系数及摩擦副材料的磨损率第78-80页
        5.6.3 TiN/Al_2O_3/TiN薄膜与对磨球的磨痕分析第80-84页
    5.7 本章小结第84-85页
第六章 总结与展望第85-87页
    6.1 总结第85-86页
    6.2 展望第86-87页
参考文献第87-97页
致谢第97-98页
在校期间的研究成果及发表论文第98页

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