| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 全固态薄膜锂离子电池 | 第12-15页 |
| 1.2.1 全固态薄膜锂离子电池简介 | 第12页 |
| 1.2.2 全固态薄膜锂离子电池的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.2.3 全固态薄膜锂离子电池负极材料 | 第13-14页 |
| 1.2.4 全固态薄膜锂离子电池负极的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.3 靶材概论 | 第15-22页 |
| 1.3.1 靶材的关键性能 | 第15-16页 |
| 1.3.2 钛酸锂靶材 | 第16-17页 |
| 1.3.3 靶材存在的问题 | 第17页 |
| 1.3.4 靶材的成型技术 | 第17-18页 |
| 1.3.5 靶材的干压成型原理 | 第18-19页 |
| 1.3.6 靶材的烧结技术 | 第19-21页 |
| 1.3.7 靶材的烧结制度 | 第21页 |
| 1.3.8 靶材的烧结机理 | 第21-22页 |
| 1.4 Li_4Ti_5O_(12)材料 | 第22-26页 |
| 1.4.1 Li_4Ti_5O_(12)材料的性质 | 第22-23页 |
| 1.4.2 Li_4Ti_5O_(12)材料的导电机理 | 第23-24页 |
| 1.4.3 Li_4Ti_5O_(12)材料的掺杂改性 | 第24-25页 |
| 1.4.4 Li_4Ti_5O_(12)的合成方法 | 第25-26页 |
| 1.5 本论文研究的目的和意义 | 第26-27页 |
| 1.6 本论文的研究内容和创新点 | 第27-29页 |
| 1.6.1 论文的主要内容 | 第27页 |
| 1.6.2 本文的创新点 | 第27-29页 |
| 第2章 实验步骤及性能测试方法论述 | 第29-36页 |
| 2.1 混合料的制备 | 第29-30页 |
| 2.2 靶材的成型 | 第30-31页 |
| 2.3 靶材的烧结 | 第31-32页 |
| 2.4 实验设备及作用 | 第32页 |
| 2.5 靶材的性能测试和表征手段 | 第32-36页 |
| 2.5.1 激光粒度分析 | 第32-33页 |
| 2.5.2 热重分析 | 第33页 |
| 2.5.3 X射线衍射分析 | 第33页 |
| 2.5.4 扫描电镜微观形貌分析与EDS成分分析 | 第33-34页 |
| 2.5.5 致密度和收缩率的测量与计算 | 第34页 |
| 2.5.7 抗弯强度测试 | 第34-35页 |
| 2.5.8 维氏硬度测试 | 第35页 |
| 2.5.9 X射线光电子能谱分析 | 第35页 |
| 2.5.10 原子力显微镜 | 第35-36页 |
| 第3章 Li_4Ti_5O_(12)陶瓷靶材的烧结制备 | 第36-56页 |
| 3.1 钛酸锂粉料的分析 | 第36-39页 |
| 3.1.1 球磨前后粉料的SEM分析和粒度分析 | 第36-37页 |
| 3.1.2 粉料的物XRD分析 | 第37页 |
| 3.1.3 脱胶和烧结制度的确定 | 第37-39页 |
| 3.2 烧结温度对于靶材性能的影响 | 第39-42页 |
| 3.2.1 不同烧结温度下陶瓷靶材的XRD测试分析 | 第39页 |
| 3.2.2 不同烧结温度下陶瓷靶材断面的SEM分析 | 第39-40页 |
| 3.2.3 烧结温度对于致密化的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.4 烧结温度对于靶材力学性能的影响 | 第41-42页 |
| 3.3 Li2CO3掺杂改善高温锂流失 | 第42-43页 |
| 3.4 混合粉料的分析 | 第43-46页 |
| 3.4.1 球磨前后粉料的形貌分析 | 第43-44页 |
| 3.4.2 混合粉料的EDS分析 | 第44-45页 |
| 3.4.3 脱胶和烧结制度的确定 | 第45-46页 |
| 3.5 烧结温度和掺杂量对于靶材性能的影响 | 第46-50页 |
| 3.5.1 不同烧结温度下陶瓷靶材的XRD测试分析 | 第46-47页 |
| 3.5.2 不同掺杂量下陶瓷靶材的XRD测试分析 | 第47页 |
| 3.5.3 不同烧结温度下陶瓷靶材断面的SEM分析 | 第47-48页 |
| 3.5.4 烧结温度和掺杂量对于靶材致密化的影响 | 第48-49页 |
| 3.5.5 烧结温度和掺杂量对于靶材力学性能的影响 | 第49-50页 |
| 3.6 保温时间对于靶材性能的影响 | 第50-54页 |
| 3.6.1 不同保温时间下陶瓷靶材的XRD测试分析 | 第50-51页 |
| 3.6.2 不同保温时间下陶瓷靶材断面的SEM分析 | 第51-52页 |
| 3.6.3 保温时间对于靶材致密化的影响 | 第52-53页 |
| 3.6.4 保温时间对于靶材力学性能的影响 | 第53-54页 |
| 3.7 陶瓷靶材的EDS分析 | 第54页 |
| 3.8 小结 | 第54-56页 |
| 第4章 Mg~(2+)掺杂Li_4Ti_5O_(12)陶瓷靶材的烧结制备 | 第56-71页 |
| 4.1 混合粉料的分析 | 第56-59页 |
| 4.1.1 球磨前后粉料的SEM分析和粒度分布 | 第56-57页 |
| 4.1.2 混合粉料的EDS分析 | 第57-58页 |
| 4.1.3 排胶和烧结制度的确定 | 第58-59页 |
| 4.2 烧结温度和掺杂量对于靶材性能的影响 | 第59-63页 |
| 4.2.1 不同烧结温度下靶材的XRD分析 | 第59-60页 |
| 4.2.2 不同掺杂量下靶材的XRD分析 | 第60-61页 |
| 4.2.3 不同烧结温度下靶材的SEM分析 | 第61-62页 |
| 4.2.4 烧结温度和掺杂量对靶材致密化的影响 | 第62页 |
| 4.2.5 烧结温度和掺杂量对靶材力学性能的影响 | 第62-63页 |
| 4.3 保温时间对于靶材性能的影响 | 第63-67页 |
| 4.3.1 不同保温时间下靶材的XRD分析 | 第63-64页 |
| 4.3.2 不同保温时间下靶材的SEM测试分析 | 第64-65页 |
| 4.3.3 保温时间对于靶材致密化的影响 | 第65-66页 |
| 4.3.4 保温时间对于靶材力学性能的影响 | 第66-67页 |
| 4.4 靶材的EDS分析 | 第67-68页 |
| 4.5 靶材的XPS分析 | 第68-70页 |
| 4.6 小结 | 第70-71页 |
| 第5章 Li_4Ti_5O_(12)薄膜的制备与表征 | 第71-76页 |
| 5.1 PLD制备LMTO薄膜的工艺参数 | 第71-72页 |
| 5.2 PLD制备LMTO薄膜的实验步骤 | 第72页 |
| 5.3 LMTO负极薄膜退火流程 | 第72页 |
| 5.4 LMTO负极薄膜XRD分析 | 第72-73页 |
| 5.5 LMTO负极薄膜SEM分析 | 第73-74页 |
| 5.6 LMTO负极薄膜AFM分析 | 第74-75页 |
| 5.7 小结 | 第75-76页 |
| 第6章 结论与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 结论 | 第76页 |
| 6.2 展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第85页 |
