| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 纳米薄膜厚度的测量研究 | 第9-13页 |
| 1.1.1 探针(台阶仪)测量法 | 第9-10页 |
| 1.1.2 椭圆偏振法 | 第10-12页 |
| 1.1.3 干涉测量法 | 第12页 |
| 1.1.4 光谱法 | 第12-13页 |
| 1.2 典型光学测量方法的比较 | 第13-14页 |
| 1.3 论文的研究内容与章节安排 | 第14-16页 |
| 第2章 基于单峰值波长移动的白光干涉厚度测量法 | 第16-31页 |
| 2.1 白光干涉与激光干涉的比较 | 第16-18页 |
| 2.2 白光干涉解调技术 | 第18-25页 |
| 2.2.1 白光干涉时域解调方案 | 第18-22页 |
| 2.2.2 白光干涉频域解调方案 | 第22-25页 |
| 2.3 白光干涉应用于极短光程的测量原理 | 第25-30页 |
| 2.3.1 单峰值波长移动的白光频域干涉的理论基础 | 第25-27页 |
| 2.3.2 单峰值波长移动的白光频域干涉的仿真分析 | 第27-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 白光干涉法测量锗薄膜厚度的实验 | 第31-43页 |
| 3.1 锗膜的制备与厚度控制 | 第32-35页 |
| 3.2 膜厚检测实验系统 | 第35-37页 |
| 3.2.1 系统光源的选择 | 第35-36页 |
| 3.2.2 信号处理单元 | 第36-37页 |
| 3.3 锗薄膜厚度测量的实验结果 | 第37-41页 |
| 3.4 测量误差分析与讨论 | 第41-42页 |
| 3.4.1 光源中心波长漂移引起的误差 | 第41页 |
| 3.4.2 温度引起的误差 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 金膜厚度的表面等离子体共振测量法 | 第43-56页 |
| 4.1 SPR用于膜厚测量的研究现状 | 第43-44页 |
| 4.2 SPR检测金属薄膜厚度的原理 | 第44-50页 |
| 4.2.1 金属薄膜中SPR效应的原理分析 | 第44-47页 |
| 4.2.2 金属薄膜参数对SPR效应的影响 | 第47-50页 |
| 4.3 金属薄膜厚度的表面等离子体共振测量方案 | 第50-52页 |
| 4.4 金膜厚度测量结果 | 第52-54页 |
| 4.4.1 SPR系统：激发、耦合与信号采集 | 第52-53页 |
| 4.4.2 SPR实验与金属薄膜厚度测量结果 | 第53-54页 |
| 4.5 误差分析 | 第54-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 外差干涉测量方法的理论研究 | 第56-64页 |
| 5.1 外差干涉测量方法的原理 | 第56-59页 |
| 5.2 外差干涉法膜厚测量系统的仿真分析 | 第59-62页 |
| 5.3 仿真结果分析与结论 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第74页 |