PbTiO3/PbZrO3铁电超晶格的制备与电学性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 铁电材料 | 第11-17页 |
| 1.2.1 铁电薄膜材料 | 第16页 |
| 1.2.2 铁电超晶格材料 | 第16-17页 |
| 1.3 铁电超晶格材料的分类 | 第17-19页 |
| 1.3.1 铁电与铁电超晶格材料 | 第18页 |
| 1.3.2 铁电与非铁电超晶格材料 | 第18-19页 |
| 1.3.3 非铁电与非铁电超晶格材料 | 第19页 |
| 1.4 铁电超晶格的制备方法 | 第19-21页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法 | 第19-20页 |
| 1.4.2 分子束外延法 | 第20页 |
| 1.4.3 金属有机气相沉积法 | 第20页 |
| 1.4.4 溅射法 | 第20-21页 |
| 1.4.5 脉冲激光沉积法 | 第21页 |
| 1.5 铁电超晶格的研究现状 | 第21-27页 |
| 1.6 本论文的研究内容和意义 | 第27-29页 |
| 第2章 实验方法 | 第29-37页 |
| 2.1 制备方法 | 第29-31页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积法的原理及特点 | 第29-30页 |
| 2.1.2 基本工艺流程 | 第30-31页 |
| 2.2 晶体及微结构表征 | 第31-34页 |
| 2.2.1 X射线衍射 | 第31页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第31-32页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜 | 第32-33页 |
| 2.2.4 原子力显微镜 | 第33-34页 |
| 2.3 电学性能表征 | 第34-37页 |
| 2.3.1 铁电性能综合测试仪 | 第34-36页 |
| 2.3.2 介电性能综合测试仪 | 第36-37页 |
| 第3章 周期厚度对PTO/PZO铁电超晶格的影响 | 第37-55页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 样品的制备 | 第37-47页 |
| 3.2.1 基板的处理 | 第37-39页 |
| 3.2.2 PTO铁电薄膜的制备 | 第39-43页 |
| 3.2.3 PZO反铁电薄膜的制备 | 第43-46页 |
| 3.2.4 PTO/PZO铁电超晶格的制备 | 第46-47页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第47-52页 |
| 3.3.1 XRD结果 | 第47-49页 |
| 3.3.2 SEM结果 | 第49-50页 |
| 3.3.3 铁电性能结果 | 第50-51页 |
| 3.3.4 介电性能结果 | 第51-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-55页 |
| 第4章 总厚度对PTO/PZO铁电超晶格的影响 | 第55-67页 |
| 4.1 引言 | 第55-56页 |
| 4.2 样品的制备 | 第56页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第56-65页 |
| 4.3.1 XRD结果 | 第56-57页 |
| 4.3.2 TEM结果 | 第57-58页 |
| 4.3.3 铁电性能结果 | 第58-62页 |
| 4.3.4 电场致反铁电-铁电相变的发现 | 第62-64页 |
| 4.3.5 介电性能结果 | 第64-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 全文总结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
