| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·AZO 薄膜的结构及特性 | 第11-14页 |
| ·晶体结构 | 第11-12页 |
| ·电学特性 | 第12-13页 |
| ·光学特性 | 第13-14页 |
| ·AZO/metal/AZO 复合多层膜 | 第14-15页 |
| ·柔性AZO 薄膜的研究现状 | 第15-17页 |
| ·柔性TCO 薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| ·磁控溅射法 | 第17-18页 |
| ·真空蒸镀法 | 第18-19页 |
| ·离子镀 | 第19页 |
| ·柔性TCO 的应用与展望 | 第19-20页 |
| ·本文研究思路及内容 | 第20-22页 |
| 第二章 薄膜制备及表征方法 | 第22-30页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第22-23页 |
| ·柔性衬底的选择 | 第22页 |
| ·衬底清洗 | 第22页 |
| ·实验设备及操作步骤 | 第22-23页 |
| ·薄膜性能表征技术 | 第23-30页 |
| ·X 射线衍射（XRD）分析 | 第24-25页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第25-26页 |
| ·紫外-可见（UV-VIS）光谱 | 第26页 |
| ·霍尔效应（Hall effect） | 第26-29页 |
| ·台阶仪 | 第29-30页 |
| 第三章 柔性AZO 薄膜实验结果与讨论 | 第30-45页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·实验参数 | 第30-31页 |
| ·腐蚀坑深度的影响 | 第31-32页 |
| ·溅射功率的影响 | 第32-33页 |
| ·工作气压的影响 | 第33-38页 |
| ·结构形貌分析 | 第33-35页 |
| ·电学性能分析 | 第35-36页 |
| ·光学性能分析 | 第36-37页 |
| ·品质因数分析 | 第37-38页 |
| ·衬底的影响 | 第38-42页 |
| ·结构形貌分析 | 第38-39页 |
| ·电学性能分析 | 第39-40页 |
| ·光学性能分析 | 第40-41页 |
| ·品质因数分析 | 第41-42页 |
| ·A r 气流量的影响 | 第42-43页 |
| ·电学性能分析 | 第42页 |
| ·光学性能分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 柔性AZO/Ag/AZO 多层膜实验结果与讨论 | 第45-59页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·实验参数 | 第45-46页 |
| ·Ag 层厚度的影响 | 第46-52页 |
| ·结构分析 | 第46页 |
| ·电学性能分析 | 第46-48页 |
| ·光学性能分析 | 第48-51页 |
| ·品质因数分析 | 第51-52页 |
| ·Ag 层溅射功率的影响 | 第52-55页 |
| ·电学性能分析 | 第52-53页 |
| ·光学性能分析 | 第53-54页 |
| ·品质因数分析 | 第54-55页 |
| ·衬底的影响 | 第55-57页 |
| ·电学性能分析 | 第55-56页 |
| ·光学性能分析 | 第56-57页 |
| ·品质因数分析 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第68页 |