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高性能YIG靶材及薄膜的制备与性能的研究

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-20页
    1.1 引言第10页
    1.2 微波铁氧体材料第10-13页
        1.2.1 铁氧体材料的介绍第10-11页
        1.2.2 YIG的特征与性能第11-12页
        1.2.3 YIG的的发展与现状第12-13页
    1.3 YIG块材的制备工艺第13-14页
        1.3.1 传统的制备工艺第13页
        1.3.2 两步烧结制备工艺第13-14页
        1.3.3 实验用药品与仪器介绍第14页
    1.4 YIG薄膜制备工艺与脉冲激光沉积技术(PLD)的发展与原理第14-19页
        1.4.1 YIG薄膜的制备工艺第14-15页
        1.4.2 脉冲激光沉积技术(PLD)的发展与原理第15-17页
        1.4.3 薄膜实验与检测仪器介绍第17-19页
    1.5 本论文主要工作及内容安排第19-20页
第二章 溶胶凝胶法结合两步烧结制备YIG块材第20-29页
    2.1 引言第20页
    2.2 溶胶凝胶结合两步烧结法制备YIG块材的工艺流程第20-21页
        2.2.1 纳米级YIG粉体的制备第20-21页
        2.2.2 YIG块材的制备第21页
    2.3 测试结果与分析第21-27页
        2.3.1 溶胶凝胶制YIG纳米粉体测试结果第21-22页
        2.3.2 传统烧结结果及分析第22-24页
        2.3.3 两步烧结结果及分析第24-26页
        2.3.4 两步烧结样品的磁性能与铁磁共振线宽分析第26-27页
    2.4 本章小结第27-29页
第三章 PLD法靶材晶粒尺寸对对薄膜影响的影响第29-41页
    3.1 引言第29页
    3.2 PLD法制备YIG薄膜的流程第29-33页
        3.2.1 靶材与基片的选择第29-30页
        3.2.2 基片清洗第30-31页
        3.2.3 安装靶材与基片第31页
        3.2.4 系统抽真空与基片加热第31页
        3.2.5 制备薄膜第31-32页
        3.2.6 薄膜的退火第32-33页
    3.3 实验的结果与分析第33-39页
        3.3.1 不同晶粒尺寸的靶材对YIG薄膜表面形貌影响第33-36页
        3.3.2 不同晶粒尺寸的靶材对YIG薄膜性能影响第36-39页
    3.4 本章小结第39-41页
第四章 Fe2O3及Y2O3的掺杂对YIG薄膜影响的探究第41-51页
    4.1 引言第41页
    4.2 靶材激光溅射后表面的检测第41-44页
        4.2.1 靶材激光溅射后表面形貌的变化第41-42页
        4.2.2 靶材激光溅射后表面成分变化第42-44页
        4.2.3 小结第44页
    4.3 YIG靶材掺杂Fe2O3或Y2O3双靶材连续沉积第44-50页
        4.3.1 实验流程第45页
        4.3.2 测试结果与分析第45-50页
    4.4 本章小结第50-51页
第五章 总结与展望第51-53页
致谢第53-54页
参考文献第54-60页
附录第60页

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