| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·硅片磨床的研究现状 | 第9-10页 |
| ·硅片磨床进给系统的结构特点与性能要求 | 第10-11页 |
| ·硅片磨床进给系统的性能要求 | 第11页 |
| ·虚拟样机仿真技术及应用 | 第11-15页 |
| ·传统模式与现代模式的产品开发过程 | 第12-13页 |
| ·数字化虚拟样机技术应用现状 | 第13-14页 |
| ·机电协同仿真技术的现状 | 第14-15页 |
| ·课题背景及意义 | 第15-16页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 硅片磨床进给系统刚柔耦合模型 | 第18-41页 |
| ·多体动力学 | 第18-19页 |
| ·多刚体系统动力学 | 第18-19页 |
| ·多柔体系统动力学 | 第19页 |
| ·虚拟样机刚柔耦合模型 | 第19-23页 |
| ·多刚体模型创建工具及流程 | 第19-20页 |
| ·柔性体模型创建工具及流程 | 第20-22页 |
| ·刚柔耦合模型创建流程 | 第22-23页 |
| ·硅片磨床进给系统的结构组成 | 第23-25页 |
| ·硅片磨床进给系统工作原理 | 第23-24页 |
| ·硅片磨床进给系统的设计性能参数 | 第24-25页 |
| ·硅片磨床进给系统刚柔耦合模型的创建 | 第25-40页 |
| ·硅片磨床进给系统三维模型的创建 | 第25-26页 |
| ·刚性进给系统的模型 | 第26-32页 |
| ·细长件丝杠的有限元模态分析 | 第32-36页 |
| ·刚柔耦合的进给系统的模型 | 第36-37页 |
| ·模型仿真结果 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 3 基于Adams的硅片磨床进给系统振动分析 | 第41-56页 |
| ·振动分析简介与流程 | 第41-44页 |
| ·机床的振动 | 第41页 |
| ·硅片磨床进给系统的振源 | 第41-42页 |
| ·振动分析基础 | 第42-44页 |
| ·硅片磨床进给系统振动模型的创建 | 第44-47页 |
| ·ADAMS振动分析流程 | 第44-45页 |
| ·进给系统振动模型 | 第45-47页 |
| ·进给系统振动模型输入和输出通道的定义 | 第47页 |
| ·硅片磨床进给系统振动仿真及分析 | 第47-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 4 超精密进给系统的机电协同仿真 | 第56-79页 |
| ·Adams/Simulink联合仿真技术 | 第56-59页 |
| ·MATLAB/Simulink概述 | 第57-58页 |
| ·ADAMS/MATLAB接口原理与设计 | 第58-59页 |
| ·硅片磨床进给伺服驱动系统 | 第59-66页 |
| ·伺服驱动系统的结构组成 | 第59-60页 |
| ·永磁交流同步伺服电机数学模型 | 第60-63页 |
| ·伺服控制环节传递函数 | 第63-66页 |
| ·机电协同仿真 | 第66-78页 |
| ·ADAMS机械传动输出至MATLAB/Simulink | 第66-67页 |
| ·MATLAB/Simulink中创建模型 | 第67-68页 |
| ·基于阶跃响应的PID参数整定 | 第68-75页 |
| ·低速进给的机电协同仿真分析 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 5 总结与展望 | 第79-81页 |
| ·全文工作总结 | 第79-80页 |
| ·不足与展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |