| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 压电微定位系统的控制现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 自抗扰控制技术的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 论文研究内容与章节安排 | 第15-17页 |
| 第2章 压电微定位系统与迟滞非线性 | 第17-31页 |
| 2.1 压电微定位实验系统介绍 | 第17-21页 |
| 2.1.1 压电微定位平台 | 第18-19页 |
| 2.1.2 其它组成部分 | 第19-21页 |
| 2.2 迟滞特性与实验分析 | 第21-26页 |
| 2.2.1 迟滞特性 | 第21-22页 |
| 2.2.2 其他非线性特性 | 第22页 |
| 2.2.3 实验分析 | 第22-26页 |
| 2.3 模型描述与参数辨识 | 第26-30页 |
| 2.3.1 模型描述 | 第26-28页 |
| 2.3.2 参数辨识 | 第28-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 自抗扰控制系统的鲁棒保性能设计 | 第31-51页 |
| 3.1 自抗扰控制与保性能控制 | 第31-34页 |
| 3.1.1 自抗扰控制 | 第31-33页 |
| 3.1.2 保性能控制 | 第33-34页 |
| 3.2 保性能ADRC方法 | 第34-43页 |
| 3.2.1 控制律设计 | 第34-39页 |
| 3.2.2 参数整定方法 | 第39-43页 |
| 3.3 仿真与压电微定位系统实验 | 第43-48页 |
| 3.3.1 数值仿真及分析 | 第43-46页 |
| 3.3.2 实验及分析 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-51页 |
| 第4章 基于ESO微分估计的复合自抗扰控制 | 第51-75页 |
| 4.1 ESO微分估计方法及分析 | 第51-59页 |
| 4.1.1 扰动观测与微分估计原理 | 第51-53页 |
| 4.1.2 ESO微分估计方法 | 第53-54页 |
| 4.1.3 几类微分估计方法的比较 | 第54-59页 |
| 4.2 基于ESO微分估计的复合ADRC方法 | 第59-69页 |
| 4.2.1 ESO观测误差分析 | 第59-62页 |
| 4.2.2 基于ESO微分估计的扰动观测方法 | 第62-65页 |
| 4.2.3 扰动补偿效果分析 | 第65-67页 |
| 4.2.4 控制律设计 | 第67-69页 |
| 4.3 仿真与压电微定位系统实验 | 第69-73页 |
| 4.3.1 数值仿真及分析 | 第69-72页 |
| 4.3.2 实验及分析 | 第72-73页 |
| 4.4 本章小结 | 第73-75页 |
| 第5章 面向周期扰动的压电微定位重复控制系统 | 第75-97页 |
| 5.1 内模原理与重复控制器 | 第75-80页 |
| 5.1.1 内模原理 | 第75-76页 |
| 5.1.2 重复控制器原理 | 第76-79页 |
| 5.1.3 重复控制器的设计方法 | 第79-80页 |
| 5.2 压电微定位重复控制系统设计 | 第80-89页 |
| 5.2.1 稳定性分析 | 第80-84页 |
| 5.2.2 重复控制器设计 | 第84-89页 |
| 5.3 仿真与压电微定位系统实验 | 第89-95页 |
| 5.3.1 仿真及分析 | 第89-92页 |
| 5.3.2 实验及分析 | 第92-95页 |
| 5.4 本章小结 | 第95-97页 |
| 第6章 总结与展望 | 第97-101页 |
| 6.1 总结 | 第97-98页 |
| 6.2 展望 | 第98-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 致谢 | 第107-109页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及在学期间参与项目 | 第109页 |