剪切干涉技术在反射表面形貌测量中的应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光学干涉测量技术概述 | 第10-18页 |
| 1.2.1 非共路干涉测量技术 | 第11页 |
| 1.2.2 共路干涉测量技术 | 第11-18页 |
| 1.3 论文主要研究内容及结构安排 | 第18-20页 |
| 2 基于傅里叶变换法的反射表面形貌测量 | 第20-38页 |
| 2.1 剪切干涉法表面形貌测量 | 第20-25页 |
| 2.1.1 改进后剪切干涉装置 | 第21-22页 |
| 2.1.2 表面形貌测量 | 第22-25页 |
| 2.2 线光剪切干涉干涉图像纹理分析 | 第25-34页 |
| 2.2.1 傅里叶变换 | 第26-28页 |
| 2.2.2 透镜焦距的选取及系统精度计算 | 第28-34页 |
| 2.3 实验结果与分析 | 第34-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 基于干涉相移法的反射表面形貌测量 | 第38-47页 |
| 3.1 干涉相移法测量系统 | 第38-41页 |
| 3.1.1 传统干涉相移法测量 | 第39页 |
| 3.1.2 干涉图像相位解包裹 | 第39-41页 |
| 3.2 基于线扫描的干涉相移法实验装置及图像采集 | 第41-44页 |
| 3.2.1 干涉相移装置光学系统 | 第41-42页 |
| 3.2.2 光学系统调试及图像采集 | 第42-44页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第44-46页 |
| 3.3.1 基于线扫描的干涉相移法测量实验结果 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 基于干涉图像自相关值曲率特征的表面粗糙度测量 | 第47-56页 |
| 4.1 测量系统基本结构 | 第47-49页 |
| 4.1.1 传统粗糙度测量 | 第47-48页 |
| 4.1.2 改进后粗糙度测量基本原理 | 第48-49页 |
| 4.2 基于自相关值曲率特征的干涉图像分析 | 第49-53页 |
| 4.2.1 干涉图像预处理 | 第49-50页 |
| 4.2.2 图干涉图像自相关统计特征 | 第50-52页 |
| 4.2.3 自相关函数的曲率特征 | 第52-53页 |
| 4.2.4 曲率与粗糙度函数 | 第53页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 论文工作总结 | 第56-57页 |
| 5.2 未来研究工作展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第64页 |
