| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.2 微机械陀螺传感器国内外研究现状 | 第11-25页 |
| 1.2.1 微机械陀螺敏感结构研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2.2 硅微陀螺接口 ASIC 芯片集成技术研究现状 | 第17-25页 |
| 1.3 电容式硅微陀螺接口电路研究存在的主要技术问题 | 第25-26页 |
| 1.4 研究目的和意义 | 第26页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 微机械陀螺电学模型研究 | 第28-51页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 微机械陀螺接口电路工作原理 | 第28-36页 |
| 2.2.1 微机械陀螺驱动力转换原理 | 第29-31页 |
| 2.2.2 电容式微陀螺闭环驱动原理 | 第31-33页 |
| 2.2.3 微机械陀螺检测原理 | 第33-36页 |
| 2.3 微机械陀螺非理想因素分析 | 第36-43页 |
| 2.3.1 微机械陀螺寄生哥氏力分析 | 第36-38页 |
| 2.3.2 微机械陀螺正交误差分析 | 第38-40页 |
| 2.3.3 微机械陀螺结构失调误差分析 | 第40-41页 |
| 2.3.4 微机械陀螺结构非线性分析 | 第41-43页 |
| 2.4 微机械陀螺等效电学模型 | 第43-50页 |
| 2.4.1 驱动模态等效电学模型 | 第43-44页 |
| 2.4.2 检测模态等效电学模型 | 第44-45页 |
| 2.4.3 考虑四种非理想因素的等效电学模型 | 第45-48页 |
| 2.4.4 完整等效电学模型仿真 | 第48-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 微机械陀螺接口电路非线性研究 | 第51-64页 |
| 3.1 引言 | 第51页 |
| 3.2 驱动模态驱动力位移转换非线性分析 | 第51-53页 |
| 3.3 检测模态位移电压转换非线性分析 | 第53-54页 |
| 3.4 检测模态两级解调非线性分析 | 第54-60页 |
| 3.4.1 解调参考信号对系统非线性的影响 | 第54-57页 |
| 3.4.2 相敏解调电路正负传递特性对系统非线性的影响 | 第57-60页 |
| 3.5 微陀螺接口电路非线性仿真 | 第60-63页 |
| 3.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 微机械陀螺自激驱动电路相位噪声研究 | 第64-75页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 自激驱动电路相位噪声研究 | 第64-71页 |
| 4.2.1 自激驱动电路相位噪声分析 | 第64-67页 |
| 4.2.2 驱动模态多噪声源分析 | 第67-71页 |
| 4.3 低相位噪声电路优化设计 | 第71-72页 |
| 4.4 相位噪声参数提取 | 第72-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 微机械陀螺接口 ASIC 设计 | 第75-102页 |
| 5.1 引言 | 第75页 |
| 5.2 整体方案设计 | 第75-76页 |
| 5.3 闭环自激驱动电路设计 | 第76-84页 |
| 5.3.1 闭环自激驱动方案研究 | 第76-78页 |
| 5.3.2 电荷放大器设计 | 第78-79页 |
| 5.3.3 90o移相器 | 第79-80页 |
| 5.3.4 PI 控制器 | 第80-81页 |
| 5.3.5 混频器 | 第81-83页 |
| 5.3.6 整体驱动电路仿真 | 第83-84页 |
| 5.4 检测电路设计 | 第84-91页 |
| 5.4.1 正交误差补偿电路研究 | 第85-87页 |
| 5.4.2 失调误差自补偿电路设计 | 第87-88页 |
| 5.4.3 积分器运算放大器设计 | 第88-91页 |
| 5.5 接口 ASIC 仿真 | 第91-93页 |
| 5.5.1 输入为正弦角速度时系统仿真结果 | 第91-92页 |
| 5.5.2 输入为阶跃角速度时系统仿真结果 | 第92页 |
| 5.5.3 接口 ASIC 版图设计 | 第92-93页 |
| 5.6 测试结果 | 第93-100页 |
| 5.7 本章小结 | 第100-102页 |
| 结论 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-113页 |
| 附录 | 第113-115页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第115-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 个人简历 | 第118页 |
