| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 微细加工机床研究现状与分析 | 第12-19页 |
| 1.2.1 常规微细加工机床 | 第12-16页 |
| 1.2.2 微小型微细加工机床 | 第16-17页 |
| 1.2.3 微细复合加工机床 | 第17-19页 |
| 1.3 气浮平台运动控制技术研究现状与分析 | 第19-22页 |
| 1.3.1 气浮系统建模技术 | 第19-20页 |
| 1.3.2 运动控制技术 | 第20-22页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 气浮式微细切削平台的搭建 | 第23-32页 |
| 2.1 微细切削平台的设计方案及技术指标 | 第23-25页 |
| 2.2 微细切削平台的主体结构部件 | 第25-28页 |
| 2.2.1 床身及气体静压导轨 | 第25-27页 |
| 2.2.2 主轴系统 | 第27页 |
| 2.2.3 Z轴及测力装置 | 第27-28页 |
| 2.3 微细切削平台的运动控制系统 | 第28-31页 |
| 2.3.1 系统构成 | 第28-29页 |
| 2.3.2 PMAC运动控制卡 | 第29-30页 |
| 2.3.3 Elmo驱动器 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 微细切削平台气体静压支撑的力学特性研究 | 第32-42页 |
| 3.1 微细切削平台的谐振频率测试试验 | 第32-35页 |
| 3.1.1 试验设计 | 第32-33页 |
| 3.1.2 试验结果与分析 | 第33-35页 |
| 3.2 微细切削平台的气膜力学性能仿真 | 第35-40页 |
| 3.2.1 气膜仿真模型的建立 | 第35-36页 |
| 3.2.2 仿真结果与分析 | 第36-40页 |
| 3.3 微细切削平台的气膜承载力测试试验 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 微细切削平台的运动控制研究 | 第42-53页 |
| 4.1 微细切削平台的数学模型 | 第42-43页 |
| 4.2 微细切削平台的运动控制策略 | 第43-45页 |
| 4.3 微细切削平台的运动控制系统仿真 | 第45-49页 |
| 4.3.1 速度环控制 | 第45-46页 |
| 4.3.2 位置环控制 | 第46-48页 |
| 4.3.3 前馈控制 | 第48-49页 |
| 4.4 微细切削平台的气浮阻尼对控制性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.5 微细切削平台的运动控制性能试验验证 | 第50-52页 |
| 4.5.1 定位精度 | 第50-51页 |
| 4.5.2 速度平稳性 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 微细切削平台的加工性能验证试验 | 第53-59页 |
| 5.1 针对高负载适应性以及导轨抑振的运动控制参数优选 | 第53-55页 |
| 5.1.1 针对高负载适应性的运动控制参数优选 | 第53-54页 |
| 5.1.2 针对导轨抑振的运动控制参数优选 | 第54-55页 |
| 5.2 微细车削加工试验 | 第55-58页 |
| 5.2.1 试验刀具及设备 | 第55-56页 |
| 5.2.2 加工参数 | 第56-57页 |
| 5.2.3 试验结果与分析 | 第57-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第66页 |