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利用硅锯屑制备Si2N2O及其石英坩埚涂覆性能研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第1章 绪论第7-15页
    1.1 硅片切割锯屑性质及应用第8-9页
    1.2 氧氮化硅的性质及应用第9-11页
        1.2.1 Si_2N_2O 的基本性质第9-10页
        1.2.2 Si_2N_2O 的一般应用第10页
        1.2.3 Si_2N_2O 在太阳能光伏产业中的应用第10-11页
    1.3 Si_2N_2O 制备技术与存在的问题第11-13页
    1.4 氧氮化硅粉体的涂料应用第13-14页
    1.5 本课题研究目的和内容第14-15页
第2章 氧氮化硅粉体制备第15-38页
    2.1 硅片废旧锯屑粉的预处理第15-17页
        2.1.1 实验过程第15-16页
        2.1.2 理化性质第16-17页
    2.2 氧氮化硅粉体合成第17-36页
        2.2.1 实验步骤第17-19页
        2.2.2 Si-N-O 体系热力学分析第19-22页
        2.2.3 气相白炭黑为氧源的氧氮化第22-30页
        2.2.4 晶态石英为氧源的氧氮化第30-33页
        2.2.5 反应热分析及过程第33-36页
    2.3 氧氮化硅粉体后处理第36-37页
    2.4 本章小结第37-38页
第3章 粉体涂层应用性能研究第38-54页
    3.1 引言第38页
    3.2 实验方法第38-41页
        3.2.1 实验原料第38页
        3.2.2 实验装置第38页
        3.2.3 实验工艺流程第38-41页
        3.2.4 实验分析检测方法第41页
    3.3 结果与讨论第41-53页
        3.3.1 涂覆工艺对涂料性能影响第41-49页
        3.3.2 粉体性质第49-50页
        3.3.3 不同粉体涂层的研究第50-53页
    3.4 本章小结第53-54页
第4章 结论第54-56页
    4.1 主要的研究结论第54-55页
    4.2 本课题的创新之处第55-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-59页

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